薄膜測厚儀-成功大學微奈米科技研究中心!!.doc

薄膜測厚儀 NanoSpec 3000 使用手冊 南區微奈米中心編製 儀器功能介紹1. 量測透明膜或半透明膜厚，期範圍為100?～30μ2. 反射光譜400nm～800nm3. 膜厚量測資料分析 量測原理簡介 儀器設備 圖（一）設備圖說 操作順序 打開光源的開關 打開電腦與螢幕電源 執行桌面NanoSpec的捷徑，將可以看到以下畫面 LogonUSER ID: user PASSWORD: user 選擇螢幕上所示之現有程式進行量測請跳至步驟6，或是編輯現有的程式以符合所需，而編輯可經由功能區之Edit\program\edit進入以下畫面，如需修改程式，請利用複製現有程式至尚未使用程式：複製001至032程式Edit Program (Page 1):Edit Program (Page 2): 請注意勾選右下角兩個選項 進入program量測螢幕會出現下列圖示，請依照圖示動作出現警告並無Filter的量測，此乃一般的狀況。請按下OK鍵之後，會出現以下的圖示，請將全黑的濾片插入濾片放置位置如圖一，並按下Ok鍵之後，會出現以下的圖示，請將全黑的濾片移除並將參考晶片放置於量測平台上，並調節顯微鏡焦距，使顯微鏡中方形框框的影像成為最清楚銳利即可，此時方可按下Ok鍵 之後會進入量測主畫面如下圖：首先輸入試樣的代號（方便之後搜尋量測的結果）此時將試片放置於量測平台上並對焦，使顯微鏡中的方框框最清楚，此動作如同參考晶片的做法。此時會出現量測的畫面，請將欲量測的點位置於光點之下並對焦之，之後便可按下【Mess】鍵進行量測，一般量測約小於1秒鐘即可完成，此時可以於同一個點量測多次，以觀察其結果的再現度與準確度，一般準確度可從兩個地方看出，一為量測結果表中的Fit欄可觀察知，其值越小越準且一般為小數點以下的數值，如下圖：第二種判別的方法即為圖示法，請按結果表底下的【Graph】，將會出現上一次量測的光譜分佈圖如下圖，其中包括藍色與紅色的曲線，藍色表示實際量測得到的圖形，紅色則代表程式模擬的圖形，如果所得到的圖形大致相符（波峰與波谷產生的位置相似）表示此量測的結果是準確的，其中如果厚度越後所得到的波峰與波谷越多，但如果薄膜的厚度過薄量測結果無波峰波谷只有單一曲線，則較不具可信度。按下【Stat】則會顯示出量測結果的統計結果如下圖：注意每當移動量測的點位都需要對焦的動作，如果更換新的試片可以利用【New Test】鍵重新鍵入試片代號，當量測結束則按【Calib】跳出量測主畫面。 搜尋已經量測過的結果：拉下功能欄中的【Data】(Process Measurement Result其中會出現四個方框包括：Program, User ID, Date and Time, Sample ID等四個選項，此四項選擇為搜尋的規則，最好皆設定比較容易搜尋你所要的資料。Program：請加入你所想搜尋的量測程式於右側，並按Ok。User ID：選擇你所想搜尋的使用者加入右欄並按Ok。Date and Time：務必調整搜尋時段如下。Sample ID：輸入試片的代號，此項最有利一般使用者搜尋，請多多利用。設定搜尋條件後進行搜尋，可得到搜尋結果如下：並選擇你所需要的結果列按滑鼠兩次，即可出現你所指定的量測結果： 關機步驟：請於主畫面功能欄中的【Exit(Shutdown)】(Exit to Windows，跳出程式回到win2000桌面，執行正常關機步驟，待完全關機後1. 螢幕開關關上，2. 光源開關關上3. 蓋上防塵套於顯微鏡上 NCKU STNRC Center at NCKU Page1 本文件及文件之內容屬國科會南區微奈米研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Taiwan Nanotechnology Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP Nano Spec 12345-678 1 2005/5/25 濾片放置位置 量