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激光的工业制造技术;性微技术、微工程的研究与开发上∩以预测,三
维微纳尺度的激光微制造技术必将成为新世纪
的主流制造技术。;0c04f1a; 激光制造技术包含两方面的内容,一是制造
激光光源的技术,二是利用激光作为工具的制造
技术。前者为制造业提供性能优良、稳定可靠的
激光器以及加工系统,后者利用前者进行各种加
工和制造,为激光系统的不断发展提供广阔的应
用空间。两者是激光制造技术中不可或缺的环
节,不可偏废。激光制造技术具有许多传统制造
技术所没有的优势,是一种符合可持续发展战略
的绿色制造技术。例如,材料浪费少,在大规模;0c04f1a;积极研制超紫外、超短脉冲、超大功率、高光束
质量等特征的激光,尤其是能适应微制造技术要
求的激光光源更是倍受关注,并已形成国际性竞
争∩以预言,激光制造技术必将以其无可替代的
优势成为 21 世纪迅速普及的高新技术。;0c04f1a;定,一般可以实现基模输出,其光束横截面能量
分布为高斯分布,且在传输过程中保持不变,光
束质量较好;对于大功率激光器,一般不易得到
基模输出,输出的往往为多模激光束,激光光束
质量变差(1)。目前工业上常用的大功率激光器
有 CO2 激光器和 YAG 激光器两种。大功率激光器
的工业应用领域很广,激光切割、激光焊接都需
要优良的光束质量,而追求高光束质量的大功率
激光是工业用激光器不断发展的目标。;0c04f1a;量,在加大的激光加工区焦点的漂移很小,非常
有利于大范围激光传输与聚集,这对大尺寸工件
的切割应用非常重要。;0c04f1a;欧、美、日一些国家在新光源、加工系统及工艺
等方面的研究与开发就从未降温过。随着激光物
质的研究与开发、器件与单元技术的改进和创
新,以高性能、宽波段、大功率为特征的激光取
得了蓬勃的发展,如紫外光输出的 KrF、ArF 准
分子激光器、倍频激光器等。尤其是高功率光纤
激光的出现,使激光制造的移动式定位加工变得
更加便利。;0c04f1a;应力阈值,或使高导热系数和高熔点金属快速熔
化,完成某些特种金属或合金材料的焊接,而??
在激光焊接过程中无机械接触,容易保证焊接部
位不因热压缩而变形,还排除了无关物质落入焊
接部位的可能;如果采用大焦深的激光系统,还
可实现特殊场合下的焊接,比如,由软件控制的
需隔离的远距离在线焊接、高精密防污染的真空
环境焊接等;在不发生材料表面蒸发的情况下可
熔化最大数量的物质,达到高质量的焊接。以上;0c04f1a;外,主要还体现在材料内部热传导效应量级上的
控制。激光的显著特点之一,就是可采取连续和
脉冲方式输出。以固体的钻孔与切割为例,激光
能量高度集中,以及加热、冷却速度快的特点可
实现传统技术达到的普遍要求,加工属热化学过
程。这里要突出的是,通过脉冲式激光辐射可达
到接近“冷”加工的光化学动力过程。一方面选
择脉冲的时间宽度,使得材料内的热传导过程和
热化学反应来不及发生;另一方面通过控制激光;0c04f1a;已形成固定模式并投入规模化生产中。除此之
外,能突显其优势的领域还有精密光学仪器的制
造、高密度信息的写入存储、生物细胞组织的医
疗等。选择适当波长的激光,通过各种优化工艺
和逼近衍射极限的聚焦系统,获得高质量光束、
高稳定性、微小尺寸焦斑的输出。利用其锋芒尖
利的“光刀”特性,进行高密微痕的刻制、高密
信息的直写;也可利用其光阱的“力”效应,进
行微小透明球状物的夹持操作。例如,高精密光;0c04f1a;信息记录密度高(107~108bit/cm2 以上),;0c04f1a;可通过激光的光纤传输实行加工头的机器手定
位控制,从而实现高效的自动化、智能化激光制
造。比如,汽车车身覆盖件的三维定位切割、车
身骨构架的焊接、齿轮盘及其他零部件的焊接加
工等,已形成激光加工、组装一条龙的生产线。;0c04f1a;一起,形成了世纪标志的高技术产业,并渗透到
人类活动的各个领域。 21 世纪则是多门学科的集
成技术,即把微电子、微光学、微机械以及传感
器、执行器的信号处理单元集成在一起的微纳制
造和微系统技术。微纳制造技术与功能微系统将
成为 21 世纪高新技术与产业的里程碑,其发展
将使人类在认识和改造自然的能力上达到一个
新的高度,导致人类生活和社会物质文明及科学
技术的巨大变革。字串 6;0c04f1a;行合作开发研究。目前在微纳制造技术上已经形
成国际性竞争,已经开始新世纪高技术产业全球
市场的争夺战。;0c04f1a;的主要领域,微电子产业的规模和技术水平已成
为衡量一个国家??合实力的重要标志之一,激光
微技术将在这个领域发挥更大作用。我国在现代
光制造发展方面,机遇与挑战并存,我们要抓住
机遇,迎接新世纪光制造时代的到来。
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