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多晶车间员工操作技能培训二厂多晶车间 京运通多晶炉主界面 京运通多晶炉报警界面 京运通多晶炉手动界面 京运通多晶炉主参数表界面 一、单炉异常现象分析及处理： 运行过程中出现任何异常现象的，及时向班组长反映并做好记录，分析并处理。较为复杂的问题及时联系电工、机修，协助一起解决问题。 发生紧急事故时要保持冷静，头脑清醒，理清思路，用合理的方法解决问题，切勿手忙脚乱。 1.功率异常 1.功率异常处理 运行过程中通过功率曲线对比（同种工艺）发现功率明显偏高的，此时查看投料量，OFFSET值，工艺类型等基本信息，是否有配件更换（热电偶，加热器等），隔热层实际位置，电流电压大小等实时数据，通过观察孔查看是否发生溢流等异常现象，并用钳形电流表测量6根电缆的电流大小是否正常，判断加热器是否有断裂，进而判断是否要继续运行；必要时更换热电偶；功率突然降低或升高同上处理。 2.温度异常 温度与功率两者相互影响，现象与处理方法类似；运行过程中温度出现较大偏差，通过曲线查看发现温度明显异常的，查看配方、OFFSET值是否改动，用钳形电流表测量6根电缆的电流大小是否正常，判断加热器是否有断裂，进而判断是否要继续运行；必要时更换热电偶。 3.电流，压异常 运行过程中发现电流突然变小等异常现象的，及时用钳形电流表测量6根电缆的电流大小是否正常，判断加热器是否有断裂；若电流、功率降为0，及时查看是否主电源掉电或者相位丢失、加热器断开以及其他原因，是否保险丝熔断，并及时处理。 4.水流量异常 运行过程中，水流量过小，产生黄灯报警炉子自动暂停，及时查看参数表里水流量大小一栏，确定哪一路水管，将水流报警极值中警告值一栏修改成比实际值略小（一般不能小于3），点击继续运行，并在记录本身注明出炉后清洗水路；水路不通时需当场清理水路。 5.进出气大小，压力异常 进出气与压力也是相互影响，压力波动时，检查进出气阀门，进气阀不受控制时在配方里选择出气控制模式，进气设置为40，出气阀不受控制时在配方里选择进气控制模式，出气设置为40，进出气都不受控制时，在进出气位置加上手动阀，手动控制进出气大小。 二、大范围断水、断电、断气应急处理 1.断水应急预案： 定义：断水指主循环水泵由于断电或故障突然停止供水 多晶车间目前采用2台离心泵主要供水，2台离心泵备用供水，并且主泵与备泵电源来自不同线路，不同变压器供电。 车间水路发生突然断水事故，现场操作人员对正在生产设备进行应急处理（处理方法见异常处理“断水”）当班班长与当班机修立即赶到泵房，启动备用水泵电源，打开备用水泵阀门，关闭主泵阀门，进行紧急供水。 如果无法启动备用水泵，应立即开启消防水阀门，关闭主泵阀门，采用消防水供水，并立即排查水泵无法启动原因，确保在10分中内启动其中一组水泵。 车间操作人员待水泵恢复供水后，检查设备水路没有明显漏水，降温温度在允许范围内，重新恢复程序运行；如果10分钟内未能及时恢复供水（立即将水流量警告值改为“0”），或者掉电降温温度超过允许值，进入紧急冷却程序。 断水应急预案流程图： DSS炉断电应急预案 断电处理（有UPS） 1． 首先在掉电弹出窗口点击显出报警声音，记录好掉电时的温度以及功率，立即通知现场操作人员等待电源恢复。由班长负责安排现场人员，一人去配电室，二人负责水路水压，启动备用水泵，（水路保障参照“断水应急预案”），保证炉区不能断水，剩下的人员全部留在炉区。 2． 炉区的人员掉电以后切换到手动操作界面，输入密码（初始密码是123），手动关闭所有的阀门，关闭机械泵，等待DSS炉供电。 3． 恢复电源供应后，确认降温温度在允许范围内（见主参数设置），在手动界面里打开掉电时关闭的阀门和机械泵，再切换到模式界面，点击打开加热电源开关，点击暂停按钮在模式界面里手动加功率，功率要慢慢的往上加，不要加的很快，防止加热器打火等现象，当温度升到掉电时的温度时切换成功率控制，点击继续运行。 4． 切换到浏览窗口，在窗口中检查温度、压力、水流量、各阀门开关、电压、电流、功率是否正常。 5． 如果降温超过允许范围，直接进入紧急冷却状态 断电处理示意图 实际案例分析 案例一：测M2失败 案例二：边角时间不够 案例三：测熔化阶段跳步跳错 2014年5月，XNG1405C1102，员工在M8测熔化时，延时30分钟，本应输入模式2，阶段8，但误输入模式3，阶段8，结果从熔化8跳到长晶8，温度迅速下降，隔热层从7迅速提高到18；正处交接班前1小时，下个班操作工接班时及时发现，改功率控制升温，但因时间过久，无法继续熔，选择进去长晶1，出炉后结果为底部有30mm未化完； 思考：员工在跳步、延时等操作时请认真仔细，且完成延时、跳步后点击预览界面查看是否操作正确，再做好操作记录。同时交接班时，班组长、操作工做好交接工作