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直流溅射法制备AlZnO薄膜相关
直流溅射法制备Al-ZnO薄膜的技术参数
样品(靶材) 溅射气压(Pa) 溅射功率(W) 薄膜厚度(?) 基底温度
(oC) 方阻
(Ω) 透过率(%) 靶材1(之前) 2.0 0.1A*800V 1048 RT 125 87% 6.1 0.1A*780V 1207 RT 539 0.5 0.1A*1320V 980 RT 87 6.0 0.1A*760V 3661 450 39 0.8 0.1A*1090V 4572 450 13 2.0 0.1A*860V 2684 450 14.5 0.5 0.1A*1500V 1014 450 41.6 靶材2 0.3 0.05A*1310V 897 450 50.2 0.5 0.1A*1500V 1162 450 24.2 0.5 0.1A*1500V 1059 550 46 0.5 0.1A*1500V 1207 350 42.5 0.5 0.1A*1500V 1002 450
(自然冷却) 33.5 注：RT表示制备时基底不加热。
透过率：
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