洁净室设备.ppt

工程處機電工程師第二職專長內裝 工程教育訓練 * 专题：洁净室设备 * ─內裝相關設備─  * * 主講者： 洁净室设备概述 主讲人：徐仁春 1 空氣浴塵機 2 緩衝室 3 傳遞箱 4 衣架及鞋櫃 5 洗手台及烘乾機 6 沖身洗眼機 無塵室設備 潔淨廠房空間組成分析圖 人員 物料 人員淨化用室 1.緩衝室 2.衣櫃及鞋櫃 3.洗手烘乾機 4.三叉管制機... 空氣浴塵室A/S 氣閘室A/L 傳遞箱P/B 物料淨化化用室 空調機房 輔助室 1.鍋爐機房 2.超純水站 3.空氣壓縮機房 4.真空幫浦室 5.變電/配電站... 化學區- 沖身洗眼機 潔淨室 一般區 垂直管線間/ 水平夾層 空氣浴塵室 (AIR SHOWER) 為作業者或物 品進入 CLEAN ROOM 時，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃之功能。 空氣浴塵室 (AIR SHOWER)同時具有 AIR LOCK 氣鎖功能可以有效控制人員進出作用，並作為不同等級清淨室的緩衝室，達到防止交叉污染產生。 2.1 空氣浴塵機 2. 法規需求—無 3. 用途與分類 用途 使用於跨越不同潔淨等級區域使用 分類 1.單座式A/S 2.隧道式A/S 3.階梯隧道式A/S 門扇又可分為 手拉門式A/S 自動門式A/S 2.1 空氣浴塵機 4. 結構說明 噴氣口 紅外線感知器 前過濾網 送風機 HEPA主過濾網 壓差計 2.1 空氣浴塵機 1. 前置過濾網(PRE-FILTER) 將尼龍不織布網材裝入鋁框內,其以除去較粗大之塵埃為目的。可用水洗或真空吸塵器吸塵方式再生使用。 2. 主濾網(MAIN FILTER)--HEPA FILTER 採用高性能過濾網,於0.3um以上的粒子,有99.99%以上的過濾效率。阻塞時，需重新更換。 3. 噴氣口(AIR NOZZLE) 將加壓之潔淨空氣經特別設計之噴氣口噴出23M／S以上的風速，達到粒子剝離之效果，並可依需求調整吹氣方向，可有效的去除人體衣服上之較大微粒子塵埃。 4. 送風機 使用高靜壓送風機,並採2極與4極之變極方式,以供給噴氣及循環時之使用。2極運轉時為強力噴氣模式，4極運轉時僅做空氣潔淨循環模式。 2.1 空氣浴塵機 1. 控制不同潔淨等級區域人員之進出 2. 排除一定粒徑以上之灰塵粒子 3. 防止不同潔淨等級區域之交叉污染 4. 人員更衣室入口的朝向，避開主要經常風向入口。 5. 進入無塵室間，空氣浴塵室之位置宜適中，以方便人流進出動線。 6. 空氣浴塵室旁，應設置側門，供緊急使用。 7. 單體式空氣浴塵室，自進入A/S且門關閉後，至另一側門扇可開啟之標準程序，共歷時30秒。因此，設置台數，須根據通過頻率最高時段之人數，作為選取空氣浴塵室尺寸規格之依據。 8. 若通過頻率最高時段之人數，超過單體式空氣浴塵室之負荷時，則建議使用隧道式空氣浴塵室，但通道兩側門扇，不建議使用互鎖型式，以利人員動線之暢通。 9. 隧道式空氣浴塵室之兩側門扇外，建議使用燈號及反射鏡，教育通道兩側人員之進出行為，以避免兩側門扇同時打開，產生交叉污染情形。18 2.1 空氣浴塵機 A/S數量計算 =5分鐘 ÷ 2台 X 20秒 ÷ 4人 120人 4人份 8人份 2人份 A/S型式 ÷ 1台 ÷ 4台 A/S台數 =5分鐘 X 20秒 ÷ 6人 120人 =5分鐘 X 20秒 ÷ 2人 120人 全部通過時間 單台A/S經過時間 單台A/S使用人數 總人數 2.1 空氣浴塵機 氣密緩衝室 (AIR LOCK ROOM) 為作業者或物品離開 CLEAN ROOM 時，利用互鎖功能，以有效控制人員進出時，防止交叉污染產生。 2.2 緩衝室 用途 1.使用於跨越不同潔淨等級區域使用，由潔淨等級高至等級低處 2.利用門扇互鎖之機制，防止氣流的干擾及交叉污染 分類 1.單座式A/L 2.組合式A/L 2.2 緩衝室 1. 門扇(具有互鎖功能) 2. 氣密室 基本設計原則 1. 控制不同潔淨等級區域人員之進出 2. 防止不同潔淨等級區域之交叉污染 3. 氣密緩衝室通常與空氣浴塵室位置相鄰，以方便人流離開無塵室動線順暢。 2.2 緩衝室 傳遞箱 (PASS BOX) 為置於潔淨室隔間牆上之裝置，其功能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓。 更可減少作業人員走動時，防止外區塵埃的進入。 傳遞箱(PASS BOX)的進出口應具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染之功能。 2.3 傳遞箱 2. 法規需求—無 3. 用途與分類用途 1.物流使用於跨越不同潔淨等級區域使用