第五章洁净室设计概述.pptx

第五章 洁净室设计;5.1洁净空调系统设计特点;5.1洁净空调系统设计特点;5.1洁净空调系统设计特点;5.1 洁净空调系统设计特点;5.1洁净空调系统设计特点;5.1洁净空调系统设计特点;5.2 洁净空调系统的分类;5.2.1集中式洁净空调系统;图5-1 单风机洁净空调系统示意图 1-粗效过滤器 2-温湿度处理室 3-风机 4-中效过滤器 5-高效过滤器 ;11;5.2.1集中式洁净空调系统;图5-3 风机串联洁净空调系统示意图 1-粗效过滤器 2-温湿处理风机 3-温湿度处理室 4-洁净循环总 风机 5-中效过滤器 6-高效过滤器;图5-4 风机并联洁净空调系统 1-粗效过滤器 2-温湿度处理室 3-风机 4-中效过滤器 5-高效过滤器 ;图5-8 值班风机系统 1-粗效过滤器 2-温湿度处理室 3-正常运行风机 4-中效过滤器 5-高效过滤器 6-值班风机 ;5.2.2 分散式洁净空调系统;5.2.2 分散式洁净空调系统;图5-7 （2）在分散式柜式空调送风的环境中设计局部净化装置 a）柜式空调器与高效过滤器风机机组 b）柜式空调器与高效过滤器送风口 c）柜式净化空调器 d）柜式空调器与洁净小室 ;洁净厂房送风系统结构图;图5-8 集中送风方式（空调机在侧面、轴流风机送风 ）;图5-9 集中送风方式（空调机在顶部） ;图5-10 隧道式送风方式结构形式 ;图5-11风机过滤单元送风方式 1-新风处理机组 2-FFU 3-表冷器 4-活动地板;图5-12 FMU（模块式风机单元）送风方式示意图 ;图5-13 微环境洁净厂房示意图 ;5.2.4 洁净室排风系统;1）《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001）规定：洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置。设置局部排风装置，应考虑粉尘、有害气体、有害物质的不同性质、不同浓度等因素。 2）以下情况的局部排风系统应单独设置： a.排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交叉污染。 b.排风介质中有毒与无毒，毒性相差非常大。 c.同时存在易燃、易爆与一般排风。;（2）洁净排风系统应采取的相关措施 1）防倒灌措施 ①采用设置中效过滤器（结构简单，维修方便） ②采用止回阀（使用方便但密封性较差） ③采用密闭阀（密封性好，但结构复杂，管理不便） ④采用自控装置;（2）洁净排风系统应采取的相关措施 1）防倒灌措施 2）防火、防爆措施 ——含有易燃易爆的局部排风系统，应采用与排出物质相适应的防火、防爆措施； 3）排风无公害排放措施 ——排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时，应进行无公害处理，达标后才能排入大气。;（2）洁净排风系统应采取的相关措施 4）凝结液的及时排放措施 ——对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，排放口应有一定坡度，以便及时排除凝结液。 5）通风及静压控制措施 ——洁净厂房内的换鞋、存外衣、洗浴、厕所和淋浴等生产辅助房间，应采取通风措施，其室内的静压值应低于洁净室；;（2）洁净排风系统应采取的相关措施 6）设置事故排风系统 洁净室应根据生产工艺要求设置事故排风系统。 事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。 一般对于有可能散发有害气体或易燃、易爆气体的洁净室（区）应设事故排风装置;2、排风装置的分类及处理设备 （1）洁净室排风系统的分类 ;2、排风装置的分类及处理设备 （1）洁净室排风系统的分类 ;2、排风装置的分类及处理设备 （1）洁净室排风系统的分类 ②有机气体排风系统； 当有机气体浓度能达到国家规定的大气排放标准时，可直接排放，不需设置废气处理装置； 当有机气体浓度超过国家规定的大气排放标准时，应设置有机气体排放装置，达标后方可排放； ;2、排风装置的分类及处理设备 ②有机气体排风系统； 活性炭吸附法： 有机气体排放装置 吸收法 催化燃烧法;2、排风装置的分类及处理设备 （1）洁净室排风系统的分类 ③酸性气体排风系统； 湿法化学腐蚀、酸液清洗实验室等的排风，应设湿式洗气吸收塔进行处理，达标后排入大气。 设计时根据酸性气体的类型、浓度选用合适的吸收液和吸气塔形式。 ;图5-14 几种吸收塔的形式 a)填料吸收塔；b)鼓泡吸收塔；c)喷淋吸收塔；d)筛板式吸收塔 1—喷淋装置；2—填料；3—填料支撑板；4—雾沫分离器； 5—气体分布器；6—进液管；7—筛板；8—除雾器 ;38;39;40;41;2、排风装置的分类及处理设