环境扫描电镜课题.ppt

环境扫描电子显微镜;什么是环境扫描电子显微镜;主要特点; 环境扫描电镜: 三种操作方式;环境扫描电子显微镜;在环境扫描电镜中，样品室中的气压是由流入量与流出量的平衡决定的。流出量由压差光阑控制：气体从样品室流出的流量取决于压差光阑的尺寸和压差光阑上下气压差。流入样品室气体的流量由操作者通过一个自动气阀控制。 ;;多级压差光阑;用两个靠的很近的放置在物镜中的压差光阑来满足上述要求。两个压差光阑可以使每个光阑上下的压差尽可能小，而又有足够大的光阑尺寸，使样品室和镜筒之间总的压差很大在压差光阑至上、之间、之下分别通管道抽气，足以提供从样品室50Torr至透镜中10-5Torr的真空梯度。 ;电子在气体中的散射：;按m值的高低将电子的散射分成三个部分：;随着气压的增加，电子束逐渐展宽？;未散射电子与散射电子的强度比决定了散射对图???质量的影响程度。; 既使在部分散射区图像的分辨率仍由未散射的束电子部分决定，而散射的束电子部分只是背底噪音，并由此引起束流的降低。;; 入射电子束与样品相互作用产生的二次电子逸出样品表面，在环境二次电子探测器所加的几百伏正电压的作用下加速向上运动；这些加速运动的二次电子与气体分子碰撞，使其电离，产生正离子和电子（称为环境二次电子）；这个电子加速和气体电离过程反复进行，导致原始二次电子信号的成比例的级联放大。而受样品表面荷电吸引向下运动的正离子可以消除荷电。;三、二次电子探测器;环境二次电子探测器：;;;ESD探测器成像;FEG ESEM;四、X射线能谱分析：;电子束同时也激发样品室中的气体产生气体元素的特征X射线。;ESEM 应用实例;人体组织;动植物表面;昆虫(活体);牙膏;微生物;3.6 Torr;加热台