电镜扫描.ppt

扫描电镜技术及其应用简介;1. 扫描电镜的产生;Max Knoll(1897-1969) Ernst Ruska(1906-1988);电子显微镜下的蚊子;1.1 光学显微镜的局限性;;1.2 电子显微镜的理论基础;根据德布罗意物质波假设，电子束具有波粒二象性： ;样　　品;1.3 电子显微镜; 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopes，TEM）——是一种高分辨率，高放大倍数的显微镜，是观察和分析材料的形貌，组织和结构的有效工具。它用聚焦电子束作为照明源，使用对电子束透明的薄膜试样（几十到几百nm），以透射电子为成像信号。 原理：电子枪产生的电子束经1~2级聚光镜会聚后均匀照射到试样上的某一待观察微小区域小，入射电子与试样物质相互作用，由于试样很薄，绝大部分电子穿透试样，其强度分布与所观察试样区的形貌、组织、结构一一对应。投射出试样的电子经物镜、中间镜、投影镜的三级磁透镜放大投射在观察图形的荧光屏上，荧光屏吧电子强度分布转化为人眼可见的光强分布，于是在荧光屏上显出与试样形貌、组织、结构相应的图像。;2 扫描电子显微镜;2.1扫描电镜基本构造;2.2 扫描电子显微镜成像原理;二次电子发射强度与入射角的关系;O;背散射电子成像原理 入射电子与样品接触时，其中一部分几乎不损失能量地在样品表面被弹性散射回来，这部分电子被称为背散射电子（Backscattered Electron）。 背散射电子的产额随样品的原子序数的增大而增加，因此成像可以反映样品的元素分布，及不同相成分区域的轮廓。 ;BESEM;2.3 环境扫描电镜;FEI/飞利浦新推出的Quanta系列扫描电子显微镜 三种真空操作模式： 高真空，低真空，环境真空 专利技术： 压差光栅：电子枪/镜筒高真空，样品室低真空；透光但不透气； 导电性：样品室内气体的有限电离，消除电荷积累。 与场发射扫描电镜相比，分辨率较低。;;ESEM;3 样品的制备;4 能谱（Energy Spectrometer）;Element;线分析;C;专题讨论;谢谢！