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真空获得与真空泵
真空概念
真空获得与真空泵
真空测量;真空单位;粗真空
低真空
高真空
超高真空;1.由理想气体状态方程
PV=(m/M)RT 可得
n=7.2×1022P/T (个/m3);2.气体分子平均自由程:气体分子之间相邻两次碰撞的距离。;不同真空区域物理特性;3.单位面积上分子与固体表面碰撞的频率: ; 在普通高真空,例如 时,对于室温下的氮气, ,如果每次碰撞均被表面吸附,按每平方厘米单分子层可吸附 个分子计算,一个“干净”的表面只要一秒多钟就被覆盖满了一个单分子层的气体分子:在超高真空 或 时。 ;tML气体分子覆盖表面一个单原子层的时间;真空的获得与真空泵;;工作过程:
气体从入口进入转子和定子之间
偏轴转子压缩空气并输送到出口
气体在出口累积到一定压强,喷出到大气
工作范围及特点:
Atmosphere to 10-3 torr
耐用,便宜
油润滑,污染
缺点:返油、振动;;罗茨泵Roots pump;涡轮分子泵;液氮冷却有很大表面积的分子筛
Atm~10-3 Torr (可以用两个泵交替工作)
很容易饱和
200 °C 烘烤除去吸附的气体
简单便宜,无油污染;加热油从喷嘴喷出,气体分子与油分子碰撞,向出气口运动
需要水冷,前级泵
10-3 to 10-7 Torr (to 10-9 Torr,液氮冷阱);离子泵;三极型离子泵;真空测量;低真空(atm ~10-4 Torr)
热偶
Pirani 真空计
膜片式真空计
高真空
电离规 Ion Gauge
剩余气体分析Residual Gas Analyzer;热偶真空计Thermocouple Gauge;Pirani Gauge;高真空测量:电离规(Ion Gauge);真空材料;常用真空材料
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