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cvd在多晶硅薄膜太阳能电池中的应用.pptx

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cvd在多晶硅薄膜太阳能电池中的应用

化学气相淀积法在多晶硅薄膜太阳能电池中的应用; 给力的太阳能!;硅太阳能电池发展; 多晶硅薄膜太阳能电池简介; (a) (b) 多晶硅薄膜太阳能电池的结构 (a)和制备工艺(b); 想要性能棒,还得薄膜好!; CVD(Chemical Vapor Deposition); 一般的CVD法;优点:发展较为成熟,操作简单,成本较低 缺点:反应温度较高(800~1200℃),从而难以形成颗粒较大的多晶硅,并且容易在晶粒之间形成孔隙,对制备较高光电转换效率的太阳能电池很不利 ; 快热化学气相沉积(RTCVD) ; 快热化学气相沉积(RTCVD); 等离子增强化学气相沉积法(PECVD) ; 等离子增强化学气相沉积法(PECVD) ; 热丝化学气相沉积法(HPCVD) ; ??丝化学气相沉积法(HPCVD) ; 热丝化学气相沉积法(HPCVD) ; 热丝化学气相沉积法(HPCVD) ;低压化学气相淀积(LPCVD); 低压化学气相淀积(LPCVD)

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