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微电子学概论 芯片制作简介
芯片制作 13微电子 王博文 原材料：硅晶圆 硅矿石 冶金级硅（粗硅原材料，纯度98%） 多晶硅（电子级硅，纯度99%） 单晶硅棒 硅晶圆片 熔炉加热，使氧与碳反应 粉碎，氯化反应得到硅烷，蒸馏化学还原 单晶硅生长，直拉法 切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻 硅矿石 冶金级硅 多晶硅 硅棒与硅晶圆片 晶圆制作 表面清洗 初次氧化 热CVD 热处理 离子注入 成品 切割、封装、测试
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