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材料分析方法实验报告 - 实验报告 - 书业网
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篇一：材料分析方法实验报告
篇二：材料分析方法课程设计报告
材料分析测试方法
课程设计（论文）
题目：磁控溅射C/W多层膜成分及微观分析
学 院 材料科学与工程
专 业 材料化学
班 级 材化082
学 生 王维娜
学 号 3080101296
指导教师 陈迪春
起止时间 2010.12.27-2011.1.1
年
材料分析测试方法课程设计任务书
课程设计内容要求：
掌握高分辨透射电子显微镜样品制备方法，学习并了解真空镀膜
技术-磁控溅射技术，多层膜制备过程，以及其微观结构分析，成分
分析所用仪器和原理。
学生（签名）
月日
材料分析测试方法课程设计评语
指导教师（签名）
年日
目录
材料分析测试方法 .................................................................................................................................. 1
第一章 前言 ................................................................................(转载于:www.zaIdian.cOM 在点 网).......................................................... 5
1.1 磁控溅射 ...................................................................................................................................... 5
1.2 X射线衍射仪 .............................................................................................................................. 5
1.3 透射电子显微镜 .......................................................................................................................... 6
1.4 X射线光电子能谱仪（XPS） ................................................................................................... 7
第二章 实验方法 .................................................................................................................................. 9
2.1 TEM样品的制备方法 ................................................................................................................ 9
2.2 实验方法 .................................................................................................................................... 10
2.3 实验方案设计 ............................................................................................................................ 11
第三章 分析结果与讨论 .................................................................................................................... 12
3.1 C/W 薄膜的XRD 衍射分析 .....................................................
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