单晶炉的数据和要求.docVIP

浙江宏业新能源有限公司 TDR-90单晶炉技术数据和要求 一． 技术特性： 1.主要性能： 1）能拉制晶棒的直径： 6”--8” 2）拉制晶棒的最大长度： 2,000 mm以下(籽晶及缩颈-放肩-晶体-收尾) 3)熔料量:90kg 2.主要参数： 1) 电源电压： 三相　2700A　150KW 输出调整范围： 16.5KW～135KW(300A～2700A、5.5V～50V) 输出控制方式： 功率控制 功率控制精度： 额定直流输出±2%以内 4) 最高加热温度： 16000C 5) 冷炉极限真空度： 3Pa 6) 上炉筒尺寸： 高度： 900mm 内径： Ф900 mm 7) 隔离阀： 手动翻板水冷式 高度： 482 mm 通径： Ф280mm 8) 主炉室尺寸：900*1250 mm 高度：炉盖高：260 mm 下炉筒：900*350 mm 上半部分高：690 mm 下半部分高：250 mm 炉底盘深：135 mm（两电极中心距：430 mm） 9) 籽晶提升装置： 软轴式 籽晶在炉内有效行程： 约2500 mm 籽晶提升速度： 低速 0.3～8 mm/min　高速≥300 mm/min 籽晶旋转速度： 2～40 rpm 可拉制晶体重量：90kg 卷线辊筒： 6” 密 封：晶体旋转轴：磁性流体 籽晶提升装置卷线轴：磁性流体 籽晶软轴：材质：钨　19×7(缕) 直径：约 2.5 mm 10) 坩埚驱动机构： 坩埚旋转速度： 2～20 rpm 坩埚轴有效行程： 450 mm 坩埚升降速度：低速： 0.02～1 mm/min 高速： ≥50mm/min 坩埚轴荷重： 165kg 密 封： 磁性流体和SUS316L焊接波纹管 3.． 尺寸和重量： 外形及安装尺寸： 主机占地面积：2500*200mm 主机最大高度：7500 mm以下 (在上炉筒上升的情况下，从设备主体最下部起至籽晶提升装置最上部为止的高度) 重量： 炉主体：约4500kg 操作箱：约100kg 控制箱：约400kg 电源箱：约2100kg 设备整机和配套件包括：炉主体、操作箱、控制箱、电源箱、水冷电缆和随机附件。 4.使用环境 A）环境温度：20±5℃； B）相对湿度：≤65%，杜绝腐蚀性气体； C）外界振源当大于10Hz时，振幅值应小于0.003mm； 5.水源要求 冷却水源的具体要求为： 酸碱度 PH=6.0～8.0 硬度（CaCO3）＜150 PPM 导电率＜500μS/CM 氯离子（Cl-）＜100PPM 硫酸根离子（SO42-）＜200PPM 碳酸碱（CaCO3） 15～60PPM 流 量： 280L/min～320L/min（含电源的冷却水） 进水压力： 3kg/c㎡～3.5kg/c㎡ 进出水压力差：2kg/c㎡以上 进水温度： 10～25℃ 6.气源要求 氩气纯度： ﹥99.999％ 氩气压力： 0.2MPa(2.1kg/c㎡)以上 氩气流量： 最大流量150L/min