PECVD拆卸石英管.docVIP

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2017-06-08 发布于重庆
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PECVD拆卸石英管

目的当设备运行工艺一段时间后，由于工艺腔内部会产生1到2毫米的薄膜层，然而这些薄膜层将会直接影响到敷层的效率。因此在当石英管连续工作30－40小时后更换设备工器具设备提供的半月形工具材料零部件微波产生器外部的盖子铜制天线敷层护板卡口互锁插头石英管及其配件安全与环境在对设备进行维护前，停止设备运行和关闭加热器在对设备进行维护前，切断所有微波组件和相关系统在打开设备腔和维护设备前，确保所有加热器组件已冷却在打开真空腔时，为防止一些敷层物质（组件上的氮化硅覆层）从加热组件上飞溅出。因此请配带防护眼镜在开始实行维护工作时，请带上防护手套以避免灼伤或者割伤装卸步骤先拆除微波产生器外部的盖子再拔出每一侧与微波产生器相连的铜制天线（约80mm长），见图1 图1 微波产生器和铜制天线在维护操作的位置向上轻提可将侧部的敷层护板拆除掉，见图2 图2 完整的等离子体源（左）和拆卸掉侧部敷层护板后（右）用设备提供的半月形工具先嵌入卡口互锁插头的孔中然后再向顺时针旋转，见图3 图3卡口互锁插头将卡口互锁插头拔出，见图4 图4 卡口互锁插头在维护操作时的正确位置最后再将石英管及其配件沿竖直方向托出注意事项注意安全操作晶澳太阳能有限公司版本: V1.0 作业指导书部门: 设备部文件编号: JAW_006_3001 文件名: PECVD拆卸石英管日期: 2006-6-20 第 3 页共 3 页编写者: 李伯平修改者: 批准: