PECVD拆卸敷层防护槽.docVIP

目的 当等离子体源经过长时间的工作后，由于沉积过多并附着在敷层防护槽上，在这种情况下对防护槽的清洁也是非常重要的。因此我们需要将防护槽拆卸下来通过手工或喷砂处理，可用超声波清洗并与异丙醇相结合进行清洁处理 设备工器具 设备提供的T形工具 喷沙机 超声波清洗机 榔头 木工凿子 一字起子 沙轮 材料零部件 微波产生器外部的盖子 铜制天线 敷层护板 卡口互锁插头 石英管及其配件 异丙醇 安全与环境 在对设备进行维护前，停止设备运行和关闭加热器 在对设备进行维护前，切断所有微波组件和相关系统 在打开设备腔和维护设备前，确保所有加热器组件已冷却 在打开真空腔时，为防止一些敷层物质（组件上的氮化硅覆层）从加热组件上飞溅出。因此请配带防护眼镜 在开始实行维护工作时，请带上防护手套以避免灼伤或者割伤 异丙醇属易燃品，使用时注意安全，不得在高温环境并严格隔离火源 装卸步骤 先用真空吸尘器将槽内的敷层颗粒及杂质除去 再用设备配备的T形工具固定住防护槽的一字栓后顺时针旋转90度，见图1 图1特殊的T型工具（左）和维护操作过程开关比较（右） 沿竖直方向拔出防护槽 清洁防护槽及其备件部分 氮化硅覆层应先用木工凿子敲击，去处大的氮化硅块 难以去除的较大氮化硅块，用沙轮耐心磨除 大的氮化硅覆层去除后，有喷沙机的，可用喷沙机把表面处理干净。没有喷沙机可用沙轮耐心清除。 清理完闭后，用异丙醇将剩余的杂质祛除，用超声波清洗机清洗2小时，取出凉干待用。无超声波清洗机时可用5%的HCL浸泡30分钟，取出用自来水清洗干净，凉干待用。 注意事项 注意安全操作 不要在设备上大力敲击去氮化硅覆层，以免损伤微波等离子体源组件 LPS 1 清洗所用的喷砂设备的压力不得过大以至于对敷层防护槽造成损伤 手工去除氮化硅覆层时，要注意避免敷层防护槽的变形 由于拆换敷层防护槽所需时间很长，故在拆下后立即用备用的敷层防护槽安装上，以免影响生产 更换新的敷层防护槽的步骤与拆除敷层防护槽的操作顺序相反 晶澳太阳能有限公司 版本: V1.0 作 业 指 导 书 部 门: 设备部 文件编号: JAW_006_3003 文件名: PECVD拆卸敷层防护槽 日 期: 2006-6-20 第 2 页 共 3 页 编写者: 李伯平 修改者: 批 准: 解栓 一字栓 锁栓