PECVD操作指导书.docVIP

文件名： 管式PECVD操作指导书 文件编号：WI-EM02-72 版本：A/0 生效日期： 页码： 6 修改记录 版本 修改内容摘要 编制人 审核人 批准人 日　期 A/0 新发布 规范生产过程出现异常时的操作程序；细化操作步骤；增加操作时出现的报警信息及处理 发 布 部 门 份数 发 布 部 门 份数 □ 总经理部 [　] □ 财务部 [　] □ 人事行政部 [　] □ 设备部 [　] □ 市场营销部 [　] □ 品控部 [　] □ 技术工艺部 [　] □ 生产部 [　] 文件宣贯签字： 1.目的 确保管式PECVD处于良好的运行状态。 2.使用范围 适用于所有Centrotherm管式PECVD。 3.生产操作 3.1开机 3.1.1开总电源。 用手扳住电柜外部的红色按钮，旋转90度。从“OFF”位置拔向“ON”位置，机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。 注意，当机器出现故障，按下急停键后，首先松开急停键，然后将开关逆时针转到Reset的位置，然后再顺时针转到“ON”的位置。机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。 3.1.2开真空泵。 合上真空泵电源，按下reset按钮，start按钮亮，然后按下start按钮，pre run 按钮亮，此时真空泵启动，当真空泵运行到正常转速时，vacuum mode 灯亮，此时真空泵完全启动。 3.1.3 检查外围条件。 N2的压力 2.5Kg/，SiH4的压力约为1.5 Kg/，NH3的压力约为1.5Kg/，CDA的压力为5～7 Kg/。 炉门处的冷却水流量计 4SLM，设备炉体区顶部的冷却水流量计 4SLM，主冷却器 8SLM，设备尾部的冷却水流量计 4SLM，射频电源的总冷却水流量计 18SLM. 3.2界面操作 启动CMI程序。开总电源后计算机自动启动。输入密码“6065”后自动进入Windows桌面。 用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。 进入CMI 画面，检查设备状态： SLS UP（舟处于上位） ，DOOR CLOSED（门处于关紧状态） ，PLC OK ，LIFT READY（机械壁必须在零位） ，TUBE READY（炉管处于准备好状态） SET/ACT POSITION 0（桨处于原点位） ，PROCFLAG OK（程序标志位OK状态） 3.2.1选择工艺程序，生产。 插片。用小车承载石墨舟，在插片房中插满硅片。 向机器进车。向机器推入装完片的石墨舟小车。计算机CMI自动切换到“JOBS”画面 在“LOTS”项直接按回车，在舟号里输入舟的号码。选择对应的工艺文件设备自动或人工选择TUBE后，按“RUN”按钮，设备自动进行工艺生产。 3.2.2从机器中取车。硅片沉积反应完成后自动卸石墨舟到小车。听到蜂鸣器的声音后，按住 绿色的小车解锁按钮三秒钟。等灯熄灭后拉出小车推入冷却房中。在运输过程中千万注 意舟的安全和避免舟高温伤害。 3.2.6完毕后小心推入冷却房中进行冷却后推到装片房卸片。 3.3关机 3.3.1检查确认生产已完毕。机器中舟已卸出。 3.3.2 PECVD每个真空管压力设定为10000mToor,等每管实际压力达到10000mToor。 3.3.3设备降温。直到降到100℃以下，才关闭CMI程序。再关计算机。 3.3.4关主电源。用手扳住电柜外部的红色按钮，逆时针方向转90度。 3.3.5关闭气源。注意：除N2外关闭所有气体。（一般情况下不需要关闭气源） 3.3.6关闭冷却水。等待二十分钟后关闭冷却水。先关进水，再关出水。（一般情况下不需要该操作） 3.3.7关闭真空泵。按压真空泵面板“OFF”按钮停泵。 3.4 常见故障处理 3.4.1上料故障 （1）舟车放进去后没动作 处理方法：a.检查上面的store2和store3是否都有舟，都有舟时，舟车不带石墨舟才能动作，否则不动作 b.检查setup里面store2和store3是否同时有舟 c．检查舟车上面的反光板有没脏污物挡住 （2）舟车推进去后刚升上夹紧，马上就松动降下 处理方法：调整升降气缸的气流量 3.4.2进舟故障 （1）桨上有舟，但机械臂不能放进去该位置 原因：检测舟的传感器没感应到反射，导致以为桨上有舟 处理方法：点击“system”— “handling”，然后查看左上角的桨的状态，如果是occupied状态的话，调整炉门的反光板，直到该状态为“free”状态 （2）石墨舟进不到位，只进到2050～2062之间 原因：电极孔没对上，或者石墨舟放反了 处理方法：及时通知设备部人员，调整电极。 3.4.3退舟故障 （1）桨在退舟时，卡住不动了 原因：桨上有舟，退出时，炉口的EFM传感器测量的石墨舟的值，和设定值有偏差 7mm。 处理方法：