ESD基础知识与量测方法详解.ppt

有关静电的基本定义 有关静电的基本定义(续) 有关静电的基本定义(续) 有关静电的基本定义(续) 有关静电的基本定义(续) 有关静电的基本定义(续) 有关静电的基本定义(续) 有关静电的基本定义(续) 静电放电的危害 静电放电的危害(续) 静电放电的危害(续) 静电防护的方法 静电防护的方法 静电防护的方法 静电防护的方法 常用的静电防护用品 常用的静电防护用品 常用的静电防护用品 常用的静电防护用品 常用的防静电警示标志 员工静电防护要求 员工静电防护要求(续) 量测方法介绍 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 量测方法介绍(续) 设备治工具量测汇总表 设备治工具量测汇总表(续) 7.防静电工作服量测： 步骤1：将工作服置于绝缘体的桌面上，将双袖打开。 步骤2：将表面阻抗计打开，输出电压选择(100V)，把重锤两端置于两个袖子上，量测两袖之间的阻抗值，如果阻抗值介于1.0×104 ~ 1.0×1011即符合要求，否则即不符合。 步骤3：如果量测结果不符合，即应清洁后再测试，如仍无法PASS，即需更换。 8.ESD防护桌垫量测： 将表面阻抗计打开压于静电桌垫中间，或以重锤置于桌垫可用约90 ~100公分的二点，如读值介于1.0×104 ~ 1.0×109，即可PASS测试。 以重锤量测桌垫与ESD grounding wire及桌垫与桌垫间之阻抗值，如阻抗值是1.0×109，表示可PASS测试，否则失败。 9.ESD防护地板量测： 接地线对地：将表面电阻计打开输出电压选用100V，把重锤一端置于导电地板，另一端连接ESD接地线，在464.5m2的范围区域内，量测点阻抗值介于1.0×104~1.0×109，即符合要求，否则即不符合。 点对点量测：将表面阻抗计打开输出电压值选用100V，把重锤置于ESD防护地板，在464.5m2的范围区域内，量测表面阻抗，两重锤间距约100公分，如果阻抗值介于1.0×104~1.0×109即符合要求 10.料架量测： 将三用电表打开，选用量测电阻值功能，将电表之量测点一端置于料架（须于无涂装之机台金属表面），一端置于ESD接地联机, 量测料架到接地线的阻抗值，如果阻抗值109，即符合要求。 11.输送带量测： 将表面阻抗计打开，把重锤的一端夹在 ESD接地线上，一端置于输送带上，量测输送带到ESD接地线的阻抗值，如果阻抗值介于1.0×104~1.0×109，即符合要求。 将表面阻抗计打开，把重锤两端置于输送带上两点，量测输送带的阻抗值，如果阻抗值介于1.0×104~1.0×109即符合要求。 12.静电敏感元件包装材料量测： 导电材料、消散材料量测：导电材质-表面电阻于1.0×104Ω以下。 静电消散材质-表面电阻介于1.0×104~1.0×1011Ω。 静电屏蔽性材质经过电场时，受屏蔽袋内物体能量变化50nJ。 绝缘物-表面电阻于1.0×1011Ω以上。 13.可能接触静电敏感元件治具的量测： 将三用电表切换到量测电阻功能，将其一端搭接在治具无涂装的位置，另一端搭接在插头的接地端。量测值小于10Ω即符合要求。 Thanks 瑞萨科技，世界十大半导体芯片供应商之一 Function ESD基础知识与量测方法 游春林 2010-02-27 Contents 1.基本知识 2.静电危害 3.静电防护 4.量测方法 5.QA 静 电 静电就是静止的电荷。 静电的产生是由于电子在外力的作用下，从一个物体转移到另一个物体或者是受外界磁场的影响而产生的极化现象。 以下每个项目都会产生静电： 摩擦、碰撞、剥离 静电感应 电容改变 压电效应 电磁辐射感应 静电感应 日常生活可以感觉到的静电现象： 闪电 冬天在地毯上行走及接触把手时的触电感 在冬天穿毛衣时所产生的噼啪声 这些对我们平常生活没有很大影响，但它对电子元件及电子线路板有很大的冲击。 静电放电（ESD） -ElectroStatic Discharge 在具有不同静电势的两个物体之间的静电转移。 静电敏感器件(ESDS) -ElectroStatic Discharge Susceptibility 日常操作、试验和运输容易遭受静电场或静电放电所损害的分立器件、集成电器或组件。 注：损害包括器件性能的任何降低或不正常。 静电敏感器件(ESDS)分类(Motorola定义)： 一般现象的静电值： 半导体损坏率的分配： 59%都是由静 电引起的 某半导体芯片公司数据 静电对集成电路的损伤主要表现为： 芯片内热二次击穿 金属喷镀熔融 介质击穿 表面