ZnO与Ag纳米复合薄膜的结构与光电性能的研究详解.doc

本 科 毕 业 论 文（设计） ZnO/Ag纳米复合薄膜的结构和光电性能研究 姓名 王文彬 院系 物理与光电工程学院 专业 应用物理学 年级 2012级 学号 20122313537 指导教师 闫金良 教授 2016年5月16日 独 创 声 明 本人郑重声明：所呈交的毕业论文(设计)，是本人在指导老师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果，成果不存在知识产权争议。尽我所知，除文中已经注明引用的内容外，本论文（设计）不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体均已在文中以明确方式标明。 此声明的法律后果由本人承担。 作者签名:二年 月 日 毕业论文（设计）使用授权声明 本人完全了解鲁东大学关于收集、保存、使用毕业论文（设计）的规定。 本人愿意按照学校要求提交论文（设计）的印刷本和电子版，同意学校保存论文（设计）的印刷本和电子版，或采用影印、数字化或其它复制手段保存论文（设计）；同意学校在不以营利为目的的前提下，建立目录检索与阅览服务系统，公布论文（设计）的部分或全部内容，允许他人依法合理使用。 （必威体育官网网址论文在解密后遵守此规定） 作者签名:二年 月 日 1引言..........................................................................................................................................2 2实验过程与分析方法 2 2.1纳米复合薄膜的制备 2 2.2纳米复合薄膜的分析方法 3 3实验结果与分析 3 3.1氧化锌单层与银单层的XRR检测与分析. 3.2 ZAZ多层膜系统的XRD检测与分析............................................................................4 3.3薄层电阻的测量...............................................................................................................6 3.4光学性质...........................................................................................................................7 4 结论 .9 参考文献 9 致 谢 10 ZnO/Ag纳米复合薄膜的结构和光电性能研究 王文彬 （物理与光电工程学院 应用物理学 2012级1班 20122313537） 摘 要：两组透明导电ZnO/Ag/ZnO多层膜系统（ZAZ）依次进行直流磁控溅射沉积。采用了不同的分析方法研究，分析银层厚度和氧化锌层厚度对ZAZ多层膜系统多层特性的影响。利用X射线衍射，研究了银层厚度和氧化锌层厚度对多层膜结构的影响。不同厚度的Ag膜作为中间金属层。银薄膜的最佳厚度为6nm，此时薄膜具有高光透射率和良好的导电性。用约20-25纳米厚的ZnO薄膜，在光谱的可见光范围内，多层膜显示出高的光透射率和具有颜色中性。多层膜的电学和光学特性由于Ag膜性能而发生巨大的改变。高质量的透明电极（ZnO/Ag/ZnO）膜在580nm处的透光率高达90%，3欧姆/平方米，高质量的透明电极可以通过适当地控制制备参数被再现。薄膜的光学性质分析得到银层厚度和氧化锌层厚度影响多层膜透光率。 关键词：多层膜；氧化物；光学性能 Study on the structure and photoelectric properties of ZnO/Ag nano composite films Wang Wenbin (School of Physics and Optoelectronic Engineering, Applied Physics, Class1 Grade 2012, 20122313537) Abstract: The two groups of transparent conductive ZnO/Ag/ZnO, ZAZ, multilayer coatings were successively deposited by direct current (DC) magnetron sputtering. Sputtering was carried out from zinc (Zn)and silver (