SilvacoTCAD工艺仿真1详解.ppt

抽取氧化层厚度 * Silvaco学习 * go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=“Tox” thickness \ oxide mat.occno=1 x.val=0 tonyplot 在菜单栏中自动生成抽取命令 时得到的语句： EXTRACT init infile=AIa02224 EXTRACT extract name=Tox thickness oxide mat.occno=1 x.val=0 WARNING: specified cutline may give inaccurate values resulting from proximity to structure edge, (min=0, max=1) Tox=1378.95 angstroms (0.137895 um) X.val=0 EXTRACT quit 输出窗口显示的结果： 注意警告信息 结构操作 命令structure 可以保存和导入结构，对结构做镜像或翻转 参数：infile,outfile,flip.y,mirror [left|right|top|bottom] 在仿真到一定步骤时可适当保存结构 * * Silvaco学习 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 structure outfile=oxide.str extract name=Tox thickness \ oxide mat.occno=1 tonyplot Tonyplot显示 Tonyplot可以显示仿真得到的结构和数据 工具多（cutline,ruler,probe,movie…） 使用灵活（set,方便的Display（2D Mesh）） 可以导出数据 * * Silvaco学习 怎样组织工艺仿真？ 1、建立仿真网格 2、仿真初始化 3、工艺步骤 4、抽取特性 5、结构操作 6、Tonyplot显示 思考1：到现在是否加深了理解？ 思考2：这是唯一的模式吗？ 工艺仿真流程： * * Silvaco学习 工艺优化 寻找合适的工艺参数——工艺优化 工艺优化工具Optimizer 启动方式：CommandOptimizer… 可以对多个参数同时优化 优化不限于工艺 * * Silvaco学习 优化设置 * * Silvaco学习 优化设置界面， 误差范围，寻找次数 待优化的参数选择 * * Silvaco学习 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=Tox thickness oxide \ mat.occno=1 x.val=0 tonyplot 框住待优化的工艺（此处是diffuse） 参数那一行，在OptimizerMode 框中选择Parameter。然后EditAdd, 即弹出参数选择面板 可改变参数扫描范围 优化目标设置 * * Silvaco学习 go athena Line x loc=0.0 spac=0.02 Line x loc=1.0 spac=0.10 Line y loc=0.0 spac=0.02 Line y loc=2.0 spac=0.20 init two.d Diffuse time=30 temp=1200 dryo2 extract name=Tox thickness oxide \ mat.occno=1 x.val=0 tonyplot quit 框住待优化的目标（通常是extract） 那一行，在OptimizerMode框中选 择Targets。然后EditAdd 即弹出优化目标（Tox）的面板，将 目标设置设置为2000 优化进行时 * * Silvaco学习 当待优化的参数，优化的目标设置好后，在OptimizerMod