折射率均匀性测试步骤.docVIP

四步法测试折射率均匀性 操作步骤 一、测前准备 双击“均匀性测试”图标，打开软件。 单击“参数设置” 按钮，对样品的长度，宽度，折射率等参数进行设置。 注意： 1 这些参数在计算中将被使用，必须输入准确。 2 输入参数的单位为mm，计算结果也以mm表示。 在参数数字设置中，将“自动识别边界”、“消离焦”前面的方框中的√去掉、不选择拟合，单次采样的重复次数可以选择1－4次。 参数输入完成后请检查确认。 单击“移相采样” 按钮，显示主操作界面。 单击“实时显示”，出现动态干涉条纹。单击软件面板或仪器控制面板上方的调整/测试切换键以显示初调光路的图像。 二、光路调整准备 图1 测试光路准备 将三个光学元件（标准透射平板、被测样品、标准反射平板），按图1准备好。 每个进入光路的反射面都会出现一个光点（标准镜的非工作面镀制减反射膜，所以反射亮点比较弱），仔细调整每一个光学元件，观察其各个反射面的反射光点位置与变化规律，做到心中有数； 注意：被测样品的两个表面的反射光点必须区分开，一般需要2’～15’，否则出现干涉条纹重叠，则无法进行测试（可使用单次测试方法进行）。 将标准透射平板的标准面调到中央，切换到测试光路，检查光斑无切割（如有切割，则需要进行微调）； 切换到初调光路，将被测样品前表面的反射光点调整到中央并与标准透射平板的标准面光点重合；再切换回去，把前表面的干涉条纹调到最少。 确定区域。首先锁定干涉图，单击区域选择按钮，其次在干涉图区域双击鼠标左键（显示出区域框），拖动九个控制点来调整区域框的大小，然后按确定。 注意：有效的区域范围应该是被测样品实际使用区域，应该比干涉区域稍小（图2）。 图2 有效区域的选择 三、测试 测试分四步进行（图3），每次测试前必须按图调整好光路，多余的反射光点必须通过倾斜调整出光路，或用纸张挡掉。 除首次测试前外，不得改变所选区域（保证测试区域的一致性），亦不得移动各个光学元件的调整架，只能进行倾斜调整。 每次测试（移相采样）前，要先单击测试步骤（如“前表面”）键，这时并排在右面的OK键会变成黑色。然后单击采样键，进行采样计算。计算完毕后单击OK键，当OK键变成OK√时表明计算有效。如发现采样有问题，可以重新进行采样。 透射测试时，必须把被测样品的反射光点，调离中心，使得干涉图中只有一组透射条纹。 图3 四步法测试过程示意图 调空腔干涉图象时，请把被测件从两块标准镜中间拖出。 计算完毕，单击移相计算键，显示计算结果。 四、测试的精度问题 测试精度标称为10-6/cm 测试精度与采样精度密切相关，环境条件应该符合JJG28-2000的要求（至少为20℃±2℃，1小时内温度波动不大于0.5℃），并且测试光路中不得有气流影响。 测试结果与样品长度、折射率密切相关，必须预先检查确认。 影响各次测试结果数据一致性的的主要因素有：所选区域的一致性、被测样品在光路中的稳定时间（如果用手拿过，则根据样品的温度系数不同需要稳定5－20分钟） 如果测试结果偏大，请检查被测件的前后表面是否弄反了。 光学玻璃的均匀性与应力双折射是完全两个不同的参数，之间只有弱相关关系，不能等同 若只通过单次测试方法来求折射率均匀性，根据文献，在精度要求为5×10-6下，样品每一个表面的不平度△h 0.34×10-4mm。对于我们干涉仪所使用光源波长632.8nm，则每个面的面形精度要求为0.054λ（λ/20）