制備石墨烯的CVD设备方案.doc

产品用途 主要用作石墨烯制备。 产品参数 产品型号 可选：单温区CY-O1200-100-IC 双温区CY-O1200-100-IIC 三温区CY-O1200-100-IIIC 炉体结构 高纯 Al2O3保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性. 炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放. 密封法兰系统全不锈钢制作 功率 5KW 双温区5KW 三温区7.5KW 供电电压 208-240VAC, 50/60Hz, 单相 最高工作温度 100℃ 连续工作温度 ℃ 炉管材质和尺寸 石英管 OD100 x ID 96 x 1400mm 石英管 OD100 x ID 96 x 100mm（双温区） 石英管 OD100 x ID 96 x 100mm（三温区） 加热区长度 加热区长度: 440mm 加热区长度: 0mm+220mm 三温区加热区长度: 440mm+220mm 控温精度 +/- 1℃ 温控系统 采用PID方式调节，可设置30段升降温程序 带有过热和断偶保护 ≤10℃/min 真空法兰 一对 SS304不锈钢法兰，通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。 炉子底部装有一对滑轨 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。 为了得到较快的加热速度，可以先将炉子预热，然后滑到放置样品的位置。 为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置。 混气系统 路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制. MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2范围: 0~200 sccm MFC 3范围: 0~200 sccm 气路: 路流量精度: 0.2%进气和出气接口: 1/4 卡套一个混气罐.每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。 安装在移动架底部的泵，真空度达 10-5 Pa. 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 . 公司简介 郑州有限公司是一家集研制、生产、销售于一体的综合性公司，公司位于河南省省会郑州。主 营 箱式电炉、管式电炉、高温电炉、钟罩炉、升降炉、真空炉、电炉配件 等。多年以来，坚持以客户 需求为导向，致力于不断提高产品的质量和完善的服务，努力确保客户满意。 在坚持自主创新的基础上吸收国内外优秀产品的先进技术，结合国内实际情况研究开发、生产加热设 备和实验仪器。产品广泛用于大专院校、科研院所，各类企业等；广泛用于陶瓷、化工、电子、冶金、 新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产。 郑州成越科学仪器有限公司 联系人：郑祥攀 手机：1座机电话号码09 电话：座机电话号码 传真：座机电话号码 网址：