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石英管式微波等离子体装置说明书 目 录 设备简介及使用范围 技术参数及特性 设备安装 操作及注意事项 设备维护 常见故障及维护办法 富阳精密仪器厂,浙江富阳新登南四葛溪南路26号 邮编311404,联系业务电话0571 一、设备简介及使用范围 设备简介 该设备利用频率为2.45GHz的微波激励稀薄气体放电，从而产生等离子体。真空反应室为Φ50mm的石英管腔体。放置样品的基片台可以方便地在反应腔体内上下升降调节。 基片台位于石英管反应腔体的中心，该基片台除了基本的上下升降功能外，同时具有水冷控温的功能，双层水冷支架与基片台可方便地拆卸与维护，即使样品以不同的形态（片状、块状、粉末状等）出现，更换或改装基片台也十分方便。 石英管反应腔两端有双层水冷套作降温保护，端口以不锈钢部件固定并密封（加橡胶）石英腔体，以确保反应腔的安全稳定工作。 该设备的真空系统采用2XZ-2型旋片真空泵，极限真空6×10－1帕，抽速2升/秒，额定转速1400转/分，机械泵与真空室之间设置有电磁阀和高真空隔膜阀，旁路管道设置另一隔断阀（高真空微调阀），以便于真空系统运行安全及工作时反应气体压强的灵活控制。真空密封采用金属和橡胶密封，通常：相对不动接口采用金属铜密封，相对可动接口采用橡胶密封。 真空测量采用数字压阻式真空计，用来测量反应腔内的工作气压。 主要电气配置： 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用单相220V交流电源，对实验室电源无特殊要求。 磁控管：采用工业上通用的磁控管，该磁控管具有使用寿命长、可靠性高的特点，维护方便。 真空计：采用压阻式真空计，用于测量工作时的工作气压。 温控仪：用于冷却水循环系统中的制冷及水温控制。 500W微波功率源：通过调节磁控管阳极电压的方法调节微波功率的输出，利用简单、可靠、易维护的电路实现微波功率的连续可调输出。 冷却水：装置自带循环冷却水，对实验室无水源要求，既节水又方便。 二、技术参数及特性 反应室工作压强：几百帕～十千帕 反应室极限压强: 6×10－1帕 反应室尺寸： Φ50mm 微波功率： 0～500W 基片温控： 200～1000℃ 三、设备安装 安装环境要求 供电： AC220V，50Hz,最大功率2000W 温度、湿度、气源及冷却水：应保障设备工作稳定正常 安装室：室内整洁，空气流通，无尘埃。 接地线：室内具有独立接地线＜3Ω 安装程序 确认安装环境 检查设备良好情况（运输过程中是否造成损坏） 安装真空泵、抽气管道、隔断阀及其它配件 连接电气柜至主机各电缆线 确认各电气部件完好无损 升降双层水冷支架，确认石英管、基片台及其它部件完好无损 连接并启动确认循环控制冷却水完好 连接好设备地线。 四、操作及注意事项 检查确认设备各部件完好，连接安全（注意接地）。 接通总电源，打开总电源开关按钮，确认冷却水箱水容量及MTC-2000水冷控制系统（详细请参照MTC-2000操作说明书）已设定完成后，打开冷却水开关按钮。 打开隔膜阀，确认气路连接规范完好后打开机械泵开关按钮，抽真空约5分钟使本底真空达到所需要求。 开启流量计开关，给真空室输送工作气源。 开启高压开关按钮，将阳极电流加载至约15mA，关闭隔膜阀，调节微调阀使工作气压达到所需要求。 调节短路活塞及工作平台高度使装置稳定工作。 试验结束时，将阳极电流调至0，关闭高压开关按钮，关闭气路，关闭机械泵，关闭冷却水，关闭总电源。 五、设备维护 注意保持环境整洁卫生。 冷却水经常更换以保证循环水系统正常工作。 及时清洁真空反应室。 所有电气旋钮及开关状态在使用前一定要确认是否在“原始”状态。 真空系统维护： 注意真空泵换油 注意反应室及管道清洁 注意密封面清洁 真空系统停机前一定要先关真空计电源，然后再进行其它 操作。 六 常见故障及维护办法 1）在加上微波功率后，放电没有发生，无等离子体。 可能的原因：反应腔内的气压太高，等离子体难于激发产生。也可能是反射板位置不匹配。 解决办法：完全打开隔膜阀，或调节反射板的位置。 2）在正常工作气压下，等离子体球不在基片台的上方，而是靠着石英管壁。 可能原因：反射板位置不合适，需进行调节。 富阳精密仪器厂,浙江富阳新登南四葛溪南路26号,邮编311404,联系业务电话(0571