中区微机电中心微机电系统基础技术简介 .doc

國立清華大學「微感測器與致動器產學聯盟」活動公告 時間：4/24/2015 星期五 10:00-17:00 地點：國立清華大學動力機械工程學系 工程一館 教室另行通知 宗旨 2013 年多位在微感測器與致動器領域有豐富經驗的清大教授，在科技部的支持下推動「微感測器與致動器產學聯盟」 Micro Sensors and Actuators Technology Consortium,??SAT ，希望透過整合學界與國家實驗室的資源和經驗，協助業界解決相關技術問題、提供設備的支援、技術的轉移、及人才的培育。也歡迎微系統上中下游業者，踴躍加入本聯盟，一起努力提升我國微感測器與致動器技術水準與國際競爭力。 為了因應物聯網即將帶來的龐大商機及相關技術需求，本聯盟除了舉辦專題演講，也將陸續安排一些訓練課程，以便進一步協助國內上中下游業者，培養微機電相關的人才。如果業界先進有任何訓練課程方面的需求，也歡迎和 ?SAT 聯繫。 課程內容 時間 主題 教師 內容 09:40 - 10:10 Registration 10:10 - 12:00 微機電系統簡介 方維倫 特聘教授 介紹 1 微機電之重要性與發展； 2 經典的微製程工藝； 3 台灣微機電產業上中下游相關資源。使聯盟成員能夠快速瞭解現有微機電製程種類，及如何尋求相關的資源以利產業之垂直整合。 12:00 - 13:00 Lunch 13:00 - 14:50 傳感原理簡介 李昇憲 副教授 介紹目前主流之微機電傳感原理與運作機制，包含 1 電容傳感； 2 熱傳感； 3 壓阻感測。使聯盟成員得以快速瞭解微機電元件運作原理及具備基礎設計能力。 14:50 - 15:10 Break 15:10 - 17:00 微感測器簡介 盧向成 教授 介紹主流之微感測器元件、系統及其應用。案例說明包含微加速度計、壓力計、麥克風、陀螺儀等，期望提供聯盟會員跨界思考的機會與未來佈局之可能方向。 17:00 Adjourn 參加對象：對微系統領域有興趣之業界及學研界人士 報 名：備有講義及便當，請務必於 2015/4/21 前報名，報名網址http://goo.gl/forms/eXDKpVbX9o 費 用：會員公司同仁一律免費，非會員公司每人NTD 1500元 非會員課程費用請於2015/4/24當日繳交現金，課程結束後郵寄收據 聯絡方式：林金慧 小姐 國立清華大學動機系 Email: ch.lin@.tw 電話: 03 574-2494 方維倫 特聘教授 國立清華大學動機系 Email: fang@.tw 電話: 03 574-2923 主辦單位：國立清華大學「微感測器與致動器產學聯盟」 網址： .tw/ SEMI Taiwan 網址：/ch/ 協辦單位：國立清華大學動力機械系、國立清華大學工學院產學研合作聯盟