UT光刻机报警安装论文.doc

南京理工大学 继续教育学院 本科毕业论文（设计） 学习中心：常州信息职业技术学院 学 号： 541122130110 姓 名： 许嘉佳 专 业： 电子科学与技术 指导教师： 张红 2015 年 3 月 13日 本科毕业论文（设计）指导教师指导意见表 学生姓名： 许嘉佳 学号： 541122130110 专业：电子科学与技术 毕业设计（论文）题目：UT1100光刻机报警灯设计与安装 指导教师意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。） 指导教师结论： （合格、不合格） 指导教师 姓名 所在单位 指导时间 本科毕业设计（论文）评阅教师评阅意见表 学生姓名： 许嘉佳 学号： 541122130110 专业： 电子科学与技术 毕业设计（论文）题目：UT1100光刻机报警灯设计与安装 评阅意见：（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。） 修改意见：（针对上面提出的问题和不足之处提出具体修改意见。评阅成绩合格，并可不用修改直接参加答辩的不必填此意见。） 毕业设计（论文）评阅成绩 （百分制）： 评阅结论： （同意答辩、不同意答辩、修改后答辩） 评阅人姓名 所在单位 评阅时间 论文原创性声明 本人郑重声明：本人所呈交的本科毕业论文《UT1100光刻机报警灯设计与安装》是本人在导师的指导下独立进行研究工作所取得的成果。论文中引用他人的文献、资料均已明确注出，论文中的结论和结果为本人独立完成，不包含他人成果及使用过的材料。对论文的完成提供过帮助的有关人员已在文中说明并致以谢意。 本人所呈交的本科毕业论文没有违反学术道德和学术规范，没有侵权行为，并愿意承担由此而产生的法律责任和法律后果。 论文作者（签字）： 许嘉佳 日期：2015年3月13日  目 录 一、背景概述 二、评估方案 三、各阶段具体工作 四、附件（工作计划） 五：控制器组装安全 六：设计总结 七：致谢 八：参考文献  一 背景概述 ULTRATECH_STEPPER是美国上世纪80年代研发的光刻机，在国内半导 体制程中，相对ASML,NIKON份额较少，但是在LED工艺制程中ULTRATECH_STEPPER研制出适合LED工艺制程的Stepper,所以在LED市场上 以上导致作业人员不能及时发现设备异常传输停止以及曝光中断等异常。影响设备作业效率。需求安装报警连锁控制系统。  二 评估方案 (一)。供应商系统软件监控报警方案 方案内容：在原来的设备控制系统安装硬件插件，并有相应软件收集报警信息，分析报警关键字，建立报警规则逻辑匹配并转换报警信号为开关量，驱动报警器工作。 (二)。关键点 由供应商完成设计安装。软硬件监控，软件为主。新控制系统要融合原系统。 (三)。成本费用估算 硬件：2000元/每台 软件：约47,000元 安装费用：约10,000元总价约￥75,000（不含税） （四）。优点 1，如果设备传输异常发生会实时输出报警，缩短响应处理时间。提高设备作业效率 2，针对不同的报警信息可以预先设置连锁输出。报警响应比较全面。 （五）。缺点 1，成本较高。 2，软硬件安装后，对原有控制系统的有干扰隐患。 （一）。 工程部自行设计电气连锁方案 方案内容：控制器通过传感器监控发现光刻机关键位置的动作信息，分析判断设备工