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电子 深圳 有限公司 作 业 指 导 书 文件编号 JU-WI-166 页 序 1 of 1 文件名称 高精度曝光机 修 订 履 历 版本 修改内容 修改人 审核 批准 修订日期 A 首版发行 A1 将设备维护保养项目由日、周、月保养更改为点检和定期认可，同时对保养内容作相应修改。 电子 深圳 有限公司 作 业 指 导 书 文件编号 JU-WI-166 版 本 A1 首版日期 文件名称 高精度曝光机 页 序 1 of 3 1. 目的 规范设备维护人员对高精度曝光机的点检、认可工作。 2. 适用范围 本作业指导书适用于高精度曝光机。 3. 职责 设备维护人员应按照作业指导书操作。 4. 作业内容 4.1 点检 4.1.1 机械系统 4.1.1.1检查传送导轮有无松动，运行是否平稳。 4.1.1.2检查平台升降系统是否正常，升降位置是否准确。 4.1.1.3检查平台整列PIN外观是否完好，整列位置是否准确，否则调节气缸位置。 4.1.1.4 检查抽风冷却系统工作是否正常，各抽风管是否完好。 4.1.1.5 检查铬板固定框架是否稳固，夹持气缸是否灵活，CCD镜头固定支架是否稳固，升降调节是否灵活。 4.1.2 电控系统 4.1.2.1检查各按扭开关控制是否灵活，各指示灯显示是否正常。 4.1.2.2 确认触摸屏显示与控制是否正常。 4.1.2.3 检查C/V传动系统是否正常，马达有无异常。 4.1.2.4 检查各感应器感应是否良好，整机动作是否正常。 4.1.2.5 检查CCD显示系统，曝光灯电源箱电压，电流显示是否正常。 4.1.3 压缩气系统 4.1.3.1 检查气压、真空显示是否正常，各减压阀调节是否灵活，压力是否稳定。 4.1.3.2各气管接头有无破裂、漏气、松脱，油气过滤器有无脏污,检查并清洁。 4.1.3.3各层流罩是否工作正常,真空泵 真空发生器 工作是否良好。 4.1.4 安全系统 4.1.4.1紧急停止开关、各安全门开关、各安全防护报警是否良好。 电子 深圳 有限公司 作 业 指 导 书 文件编号 JU-WI-166 版 本 A1 首版日期 文件名称 高精度曝光机 页 序 2 of 3 4.1.5 环保 4.1.5.1点检须对设备进行清洁，并按照ISO14001规定执行维修废弃物分类处理。 4.1.6 点检周期为1个月，点检同时做好《高精度曝光机点检记录》。 4.2 认可 4.2.1 机械系统 4.2.1.1检查导轮传送皮带有无磨损、缺齿，导轮位置是否正常，否则更换皮带，调整导轮位置。 4.2.1.2 确认Fly eye快门动作是否灵活，否则检查驱动气缸有无异常。 4.2.1.3 确认曝光平台吸附玻璃是否稳固，否则检查真空供给系统是否正常。 4.2.1.4 确认曝光平台升降是否正常，否则检查驱动气缸及其压力供给是否正常。 4.2.1.5 检查铬板夹持气缸是否灵活，铬板架固定是否稳固，整列PIN有无损坏，整列位置是否准确。 4.2.1.6检查抽风冷却系统是否正常，各冷却管道密封是否良好，CCD固定支架是否稳固，调节是否灵活。 4.2.1.7 检查光学反射系统各镜片有无异常，清洁镜面时可用氮气气枪清洁镜片表面。 4.2.2 电控系统 4.2.2.1 检查触摸屏显示画面是否正常，触摸控制是否灵敏。 4.2.2.2 检查导轮传送驱动系统是否正常，马达是否发热严重。 4.2.2.3 检查曝光平台驱动气缸升降是否正常，检查感应器感应是否良好，确定平台位置是否准确。 4.2.2.4检查平台整列PIN动作有无异常，各气缸驱动电磁阀性能是否良好。 4.2.2.5 检查光积量感应器安装位置是否准确，光积量检测显示是否正常。 4.2.2.6 确认曝光灯电源箱电压及电流显示是否正常。 4.2.2.7如需更换新灯必须在熄灯30分钟待灯胆完全冷却后进行，更换时特别留意灯胆极性，上端接负极下端接正极，灯胆气包向上。 4.2.3 压缩气系统 4.2.3.1 检查气压、真空显示是否正常，各减压阀调节是否灵活，压力是否稳定。 4.2.3.2 各气管接头有无破裂、漏气、松脱，油气过滤器有无脏污,检查并清洁。 电子 深圳 有限公司 作 业 指 导 书 文件编号 JU-WI-166 版 本 A1 首版日期 2002-4-20 文件名称 高精度曝光机 页 序 3 of 3 4.2.3.3各层流罩是否工作正常,真空泵 真空发生器 工作是否良好。 4.2.4 安全系统 4.2.4.1紧急停止开关、各安全门开关、各安全防护报警是否良好。 4.2.5 环保 4.2.5.1认可须对设备进行清洁，并按照ISO140