新技术绍介MEMS（メムス）MEMS型加速度センサ .doc

新技術紹介:MEMS（メムス）/MEMS型加速度センサ サンコーコンサルタント株式会社　相澤隆生 任天堂wiiなどのゲーム機のコントローラ用インターフェース、Apple社のiPhoneなどの携帯電話の表示制御にMEMS型加速度センサが使用してあるのをご存じの方は多いと思います。ゲーム機のコントローラでは、それを振ったり揺らしたりすることにより、コントローラの動きを３軸加速度センサで計測し、ゲーム中のラケットやバットの動き、あるいは演奏する楽器の動きとして認識されるという仕組みです。携帯電話の表示制御では、重力の方向を感知することにより表示部が置かれた方向を探知して文字が表示されるように表示画面を切り替えています。この他にも、自動車のエアバッグ展開制御判定、車両走行安定制御や車輪のスキッドコントロールに不可欠なセンサとして普及しているほか、医療用としてペースメーカーに組み込んで、寝る?起きるといった人の行動に合わせて鼓動のペースを制御するために使用されるなど、MEMS型加速度センサは身近に使用されています。 MEMS（メムス）とは、Micro-Electro-Mechanical Systemsの頭文字をとったもので、微小電気機械素子、微小電気機械システムやマイクロマシンと呼ばれているものの総称です。これは、LSI（半導体）がシリコン基板上に電子回路を集積させるのに似ていて、MEMSではシリコン基板で微小機械構造を作り込んでいます。主なデバイス（部品、装置）としては、加速度センサ、圧力センサ、ジャイロセンサなどが挙げられます。 MEMS型加速度センサは、物理探査の分野でも従来のジオフォンに代わる受振器として利用が広がっています。ION Geophysicalが3成分のMEMS型加速度センサを用いたデジタルセンサを、Sercel Inc.では同様に３成分のMEMS型加速度センサを用いたデジタルセンサユニット（DSU3-428；図－６）を石油探査市場に提供しています。 MEMS型加速度センサの特徴としてまず挙げられるのが、材料にシリコンを使用していることです。シリコンは、地球の主要な構成元素の一つであり、 入手しやすさが挙げられます。また、シリコンは材料特性が優れ変形が少なく、腐食に対し特性が劣化しにくい性質があり、自動車用センサとして用いられるなど、地球上の様々な気候条件下でも長期間安定した特性を得ることが期待できます。 参考文献 車載用センサ／カメラ技術全集 2005 ,技術情報協会,pp212-238,pp255-264 相澤隆生他 2007 : 地震探査のためのMEMS加速度センサの検討, 物理探査学会第116回学術講演会論文集,79-82. 小寺秀俊 2009 ,近年のMEMS産業の動向 世界）,NEDO海外レポートNo.1037, 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン,カタログVer.1.04 M.S. Hons et al. 2008 :Field data comparisons of MEMS acceletometers and analog geophone,TLE 図－６　Sercel Inc.ユニット