高真空脉冲激光沉积于离子束清洗系统的实验步骤.doc

高真空脉冲激光沉积于离子束清洗系统的实验步骤 合上空气开关。 打开冷水机（冷水机内充入的是纯净水），打开开关，然后再打开冷水机背面的PLD的进回水阀。 按下总控电源的开关，报警选择开关打到报警档（如果仪器报警，说明水没接好），打开开关后，电源上A、B、C三个指示灯均亮。 打开机械泵开关。 按下复合真空计的开关[ZDF-5227B]，在右侧的显示屏上显示真空室内的真空度。如果此时真空度大于5Pa，就慢慢打开旁抽阀，此时，机械泵对真空室旁抽，待真空室的在真空度低于5Pa后，关上旁抽阀，然后打开电磁阀。 打开闸板阀（闸板阀完全打开时露出手柄约13-14个扣），再打开分子泵电源开关（推到ON），分子泵屏幕上显示0.00，按[start]，就可以看到分子泵启动，转速到400就稳定了，再等半个小时后，按复合真空计上的 功能手动 ，置数 就打开电离开关，就可以观察真空室的真空度，不需要观察时就关掉电离开关。 真空达到5*10-4Pa时，就可以长膜。 若要在气氛下长膜，先打开气体流量计开关，预热5分钟。然后依次打开气瓶主阀、减压阀、气体进气阀、流量计由关闭打到阀控档，根据实验要求调节气体流量，压力调节见注意事项之19条。 将左侧总控电源打开，水打到报警，A、B、C三个灯亮。 KFM-III型“考夫曼”离子枪电源的使用方法（使用Ar离子清洗）： 开机前将面板上的所有旋钮逆时针方抽调回到0，开供电稳压电源； 按“启动”开关，电源指示灯亮（数字表也应亮）； 调放电电压至65—70V； 调灯丝电流8A左右，待看到有放电电流产生即停； 调加速电压至100V； 调速流电压至500V左右，观察速流表（数字表D变化，待束流基本稳定后再调束流电压和加速电压至工作所需的束流密度和束流能量，离子枪即开始正常工作； 使用工程中，束流表出现过载时，说明枪内有打火或有短路，请速降低束流电压，待打火或短路停止后再加大此电压； 待工作完毕后，依次将束流电压、加速电压、灯丝电流、放电电压调回至0； 按“停止”按钮关闭电源； 关闭稳压供电电源。 电离电源使用方法（使用氧气电离）： 首先检查调节电位器旋钮逆时针是否到底。 按电源的开，等到电源内的延时继电器正常工作后再缓慢顺时针调节电位器旋钮。 在调节电位器旋钮时，观察电压表的指针，如果指针不摆动，可以继续调节电位器旋钮直至真空室内气晖为止，一般在200-300V左右。 如果在调节电位器旋钮时，电压表的指针来回摆动，真空室内有打火现象，这时，应该停止调节电位器旋钮，等到指针不摆动后，在继续调节电位器旋钮直至真空室内的晖光稳定为止。 （5） 关电源时先将电位器旋钮逆时针缓慢旋转到底，然后按下电源按钮即可。 打开激光扫描器控制电源，打到自动，然后再打到正转或反转。 打开样品转动和靶控制电源（3个），样品转动控制打到远控，转速调节 打到正或反。靶自转控制打到远控，转速调节打到正或反，靶公转控制打到远控。 打开控温电源，将“功率限制”钮打到5点—6点之间。 打开电脑，打开PLD system软件。设定好程序，按程序说明进行。 将激光器设置5HZ、18KV调整光路。 激光器的参数设定好后，PLD软件程序开始运行。 激光器开始运行，长膜实验开始进行。 长膜实验完成后，关闭激光器，停止PLD运行程序，关进气阀。流量旋 钮调0。 全部实验结束，退出PLD程序。关计算机。将样品转动与靶控制电源关 闭，激光扫描器电源关闭，关闭左侧机柜总控电源。 关闭复合高真空计，控温电源的旋钮调为0，再关开关，再关流量计， 关 钢瓶的主阀，减压阀松开，关闸板阀，（气路都关死），关分子泵[stop]，当转速为0时，关分子泵电源，然后关电磁阀，关机械泵，将报警选择放置中间位置。关总控电源，关冷水机，关空气开关。