3.1反射透射与吸收率测试解析.ppt

Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 光谱分析测试系统的基本原理 薄膜光谱透射率的测试 薄膜反射率的测量 薄膜的吸收和散射测量 吸收损耗与散射损耗 激光量热仪基本原理 反射、透射与吸收率测试 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 一、光谱分析测试系统的基本原理 分光光度计是测量薄膜透射率常用的光谱分析仪器； 按照光谱波段分类： 紫外-可见光分光光度计、红外分光光度计； 按照测试原理分类： 单色仪分光光度计、干涉型光谱测试系统。 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 1、单色仪型分光光度计和基本原理 光源发出检测波段的光束 照明系统光束整形 单色仪入射狭缝（分光处理）、单色光出狭缝 样品池（可在单色仪前、后） 光电传感器产生电子 计算机软件处理 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 光源的作用 提供测量波段所需的各种波长光束；稳压电源供电， 光强恒定； 可见光光源：钨丝灯或卤钨灯； 紫外光光源：氙灯或氘灯； 红外光光源：卤钨灯或硅碳棒灯。 照明系统光束整形：对点光源的平行化处理等 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 单色仪的作用 结构：色散原件、狭缝机构、色散原件及扫描驱动， 常用色散原件 ——“棱镜”和“光栅”； 棱镜：早期产品使用， 光栅优点：色散大、分辨率大、光谱分布均匀；曲 面光栅可使光路系统优化。 单色仪利用狭缝将色散原件产生的空间分布不同波长的光分离开 狭缝具有一定的宽度，使得从单色器出来的单色光总是包含很窄波长范围的光带 狭缝照明的均匀性对测量准确度影响极大 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 光电传感器的作用 结构：光电探测器和处理电路； 紫外-可见光：光电三极管、光电倍增管、阵列光电 探测器（增强型 CCD线阵或面阵） 红外光：硫化铅光敏电阻、红外半导体传感器或热 电偶； 阵列光电传感器使用：取消单色仪出射狭缝 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. o