钻孔孔偏异常分析.ppt

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2016-11-22 发布于湖北
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钻孔孔偏异常分析

鑽孔偏破異常分析 For drilling 2003.3.18 1.鑽孔異常現象非個別孔偏孔破 (我們分析對象) 套不上pin 孔塞未鑽透漏鑽 2.孔偏責任者微影壓合鑽孔現場作業人員補償值設計 3.層間對準說明微影:依鑽孔的內層對位孔製作內層線路,靶標,同心圓壓合:依鑽孔的卯合孔組合釘卯,壓合後鑽靶孔微影:依靶孔對位製作Mask 鑽孔:依靶孔計算補償值,套pin上板鑽孔 4.層間對準流程微影 Laser 微影壓合鑽孔電鍍微影 5.微影影響孔偏曝光偏同心圓偏鑽孔同方向偏照X-Ray發現同張基板上下層同心圓偏 6.壓合影響孔偏組合偏同心圓偏鑽孔無規律偏照X-Ray發現不是同張基板的層同心圓偏靶孔偏或橢圓在壞靶處孔偏嚴重照X-Ray看靶孔 7.鑽孔補償值不適合孔偏方向內縮或外張用X-Ray照全板面判定作業過程中移動板子無規律孔偏用板子對Mylar 內鑽重壓pin 無規律孔偏看pin孔是否橢圓並對Mylar * * 耿旭珍 *