设备验收报告等离子体刻蚀.doc

设 备 验 收 报 告 设 备 名 称 型号规格 数量/套 验收范围 等离子体刻蚀机 1 验收日期： 年 月 日 技术规格 (详见附文) 验收项目 验收指标 实测结果 备注 射频电源 100~1000W连续可调 CF4/O2流量 ±1%*总量程 系统极限真空度 10Pa 系统漏气率 5Pa/min 工艺压力 ±10Pa 射频输出功率 ±50W 辉光驻波比 1.5 辉光反射功率 10W 单机产能 25min/批 设备稳定性 一周稳定运行 培训 培训内容 培训对象(签字) 培训时间 备注 石英管拆装/清洗 设备操作 日常维护/故障排查 资料交付 类型 交接对象(签字) 交接时间 备注 使用说明书 关键部件说明书 备品备件交接 验收结论： 意见和建议： 甲方 名称：中恒科技（唐山）曹妃甸有限公司 技术负责人： （盖章处） 日 期：2010 年 月 日 乙方 名称：北京中联科伟达技术股份有限公司 现场负责人： 日 期：2010 年 月 日 注：此报告一式两份，甲方、乙方各存一份。  设备验收报告附文 验收依据 1、 年 月 日，甲、乙双方签订的等离子体刻蚀设备购销合同。 2、 年 月 日，甲、乙双方签订的等离子体刻蚀设备验收细则。 验收项目 1、射频电源 2、CF4/O2流量 3、系统极限真空度 4、系统漏气率 5、工艺压力 6、射频输出功率 7、辉光反射功率 8、辉光驻波比 9、单机产能 10、设备稳定性 验收标准、方法 炉体温度稳定性 检验方法：将炉体恒温区5个点的工艺温度设为一致，范围控制在350~500℃之间，保温维持4小时，根据设定值与温控表测量出的实际值相比较得出该指标。 验收标准：5个点的温度波动值控制在±2℃以内 CF4/O2流量 检验方法：根据设定值与操作界面显示值相比较得出该指标。 验收标准：≤±1%*总量程；CF4/O2SiH4流量允许偏差均为±3sccm。 系统极限真空度 检验方法：正常启动抽真空流程，观察限定时间内（这里要求5分钟内）腔体真空压力的极限值。 验收标准：5分钟内真空压力降到10Pa以下。 系统漏气率 检验方法：将炉体内压力用真空泵抽至真空状态，保压，查看1分钟、5分钟内系统的平均漏气率。 验收标准：5Pa/min。 工艺压力 检验方法：工艺压力设定值和实际值之间的偏差。 验收标准：±10Pa 射频输出功率 检验方法：设备正常运行过程中，射频电源输出功率的波动范围。 验收标准：±50W 辉光反射功率 检验方法： 验收标准： 辉光驻波比 检验方法： 验收标准： 单机产能 检验方法：不考虑装卸片操作过程，正常执行标准工艺配方，测算10批的平均工艺节拍。 验收标准：工艺节拍25min/批。 设备稳定性 检验方法：设备进入试用期，稳定批量生产一周，无严重故障（指不发生导致生产过程停止的设备故障；排除人为因素）。 验收标准：设备稳定运行一周。 验收结果附表 培训内容详细附表 培训项目 培训内容 培训人员 备注 操作培训 1、设备使用培训（设备整体结构介绍、手动运行操作、自动运行操作、配方编辑、放花篮取花篮操作、系统参数设置等） 2、操作过程注意事项（见使用说明书相关部分） 3、射频功率的调节指导 6、气体流量的调节 维护培训 石英缸更换； 真空泵润滑油更换； 真空泵皮带更换 常见故障分析与排除（见维护手册） 日常维护（停开机、电气检查及相关器件的装调等） 附表2：资料交付清单 文档 内容 数量 接收人 1．技术规格书 1份 2．操作说明 包括设备外购件的说明书； 1套 3．安装说明 1份 4. 维修手册 1份 5．安全说明 1份 6．备品备件清单 O型密封圈，深沟球轴承，304轴卡，保险管 绿色带灯按钮，选择开关，304孔卡； 1套 7．机械装配图 整体框架图、装配图；管路图，石英缸部分装配图纸；（在操作说明书内） 1套 8．气路图 原理图；（在操作说明书内） 1份 9．电气图 电气图（包括电气原理、器件布局、接线图） 1套 北 京 中 联 科 伟 达 技 术 股 份 有 限 公 司