金属蚀刻工艺简介概要.ppt

金屬蝕刻技術簡介 報告人：李三旭 2006.4.18 目錄 一.金屬蝕刻定義及分類. 二.化學蝕刻材料厚度與精度 三、行业用途 四.金屬蝕刻工藝簡介 一.金屬蝕刻定義及分類. 金属蚀刻就是先在基板上用絲印或網印的方式把基板上需要保護的部位遮住，然後用化學或電化學方式侵蝕掉不需要的部位，最後退去保護膜，得到制品的一種加工方式。 是生产标牌、电路板、金属工艺品、金属版画等过程中的关键步骤。最初的技朮工業生產應用是在印刷絲路版，因絲路板的絲線細而密，機械加工很難完成。不同的金属材料，性质各不相同，蚀刻图型的精度不同，蚀刻深度不同，所采用的蚀刻方法、工艺以及所用蚀刻液的配方大不一样，所采用的感光抗蚀材料也各不相同。 1、??化学蚀刻法—用强酸或强碱溶液直接對工件未被保護部位进行化学腐蚀，这也是目前使用最多的一种方法，优点是蚀刻深度可深可浅，蝕刻速度很快，缺點是腐蚀液对环境有很大的污染，特別是蝕刻液不易回收。並且在生產過程中对操作工人的身体健康有害。 2、??电化学蚀刻—这是一种把工件做陽極，使用电解质通电，陽極溶解，從而達到蚀刻目的的方法，其优点在于环保方面，对环境污染很小，对操作工人的身体健康无害，缺点是蚀刻深度较小，大面积蚀刻时，電流分布不均勻，深度不易控制。 3、??激光蚀刻法—优点是线性边沿整齐无侧蚀现象，但成本很高，约为化学蚀刻法的一倍。印刷电路板行业印刷锡膏时，所用的不锈钢丝网大多是用激光蚀刻法制作的。 金屬蝕刻具有很高的復制性。在加工工藝制品上，只要提供工藝品的母版底片，就能很精確的復制出幾乎相同的產品。其次對於尺寸要求嚴格而又很微小，且機械加工很難加工的零件，提供了較方便的加工方法。 二.化學蝕刻材料厚度與精度對照： 三、行业用途： 2.1石油、化工、食品、制药用精密过滤网、过滤板、过滤筒、过滤铜板网、钢板网、不锈钢网、镍板网、圆孔网、异行孔网、微孔网、筛网、席形网。 如： 如： 電子鈊片 2.2)电子行业用栅网、阵列、金属漏板、盖板、引线框架等。 如：格栅片、模片、盖板、引线框 架、阵列引脚、栅网 。 格栅片 引线框架 栅网 引线框架 2.3)精密光学及机械平面零件、弹簧零件。 如： 蝕刻鍵盤 2.4)工艺品：适用于各种图案加工。 如： 工藝品： 四.金屬蝕刻工藝簡介 工藝流程 基板的清洗与表面处理 涂布 热风预烘干 曝光 顯影 補光固化 干燥 蚀刻 脱墨 後制作 4.1.基板的清洗与表面处理 目的：除去工件表面的防銹油、潤滑油、乳化液及工作人員分泌的汗漬油脂等。 成份組成：氫氧化鈉、碳酸鈉等鹼性物質及十二烷基苯磺酸鈉等。 脫脂不完全會影響後面塗布工序中保護膜與工件的接合力，以致在蝕刻過程中保護膜脫落造成工件的損壞。 ???????????????????????????????????????????? 4.2　涂布 涂布感光油墨。 　　可以采用滿版印刷、刷塗、滾塗或噴塗的方式，對油墨塗層的均一性要求不是很高，只要能保證塗層能夠在蝕刻時對產品需保護部位得到充分的保護。 此工序和制作網板中的塗布工序差不多，只是制作網板是在網砂上塗感光油墨，而金屬蝕刻是直接在工件表面塗布。 4.3 热风预烘干 热风预烘干（30-40℃，10-15分） 目的只是防止曝光時感光油墨粘住菲霖。要在暗室中進行操作。 4.4 曝光 曝光 高压汞灯、碘镓灯、金属卤素灯。 時間：二十秒左右，抽真空；根據工件的精度要求適當調整曝光時間。精度要求越高，曝光時間要適當縮短。 4.5 顯影 显影 對於水性感光油墨，可采用1%碳酸钠水溶液或直接用清水，温度25-30℃，手工显影或喷射显影。 對於油性感光油墨，可采用有機溶劑進行手工显影或喷射显影。 。 4.6 補光固化 　　增加固化膜对底材的结合力，提高耐蚀刻性能。 采用高压汞灯照射 或用紫外光照射，照射時間的長短要根據各自油墨的不同特性來決定，時間太長，油墨老化，結合力不好導致不能很好保護工件，時間太短，固化效果不好，結合力也不好，也不能很好保護工件。 ??? 　　 4.7 干燥 干燥　90-110℃/5-10分，增加固化膜对底材的结合力，提高耐腐蚀或耐电镀性能。 若要永久保留固化膜，可进行140-160℃/30分钟以上热烘烤 4.8 蚀刻 蚀刻　 1.化学蚀刻 蝕刻液一般都是強酸或強碱。盡可能使反應快速完成，一般蝕刻速度為0.04mm/分鐘，蝕刻速度越快，側蝕的程度就越小，所得到的工件精密度就越高。 2.电化學蚀刻 把工件做陽極，在電解液中通電