ZDF-5227使用说明书1.doc

ZDF-5227真空计简介 ZDF-5227智能型电阻电离复合真空计是一种宽量程真空测量仪器。该仪器由定温式电阻真空计和热阴极电离真空计复合而成，前者用于测量低真空，后者用于测量高真空。其使用范围在1.0×105～1.0×10-1Pa～1.0×10-5Pa。 仪器采用国内知名品牌ZJ-52T和ZJ-27抗氧化铱阴极真空规管作为传感器，稳定性好，不易损坏。 仪器采用微处理机完成测量数据的采集和处理。具有自动非线性参数修正和误差补偿功能，并采用了光电隔离、数字滤波、防高电压冲击等技术,提高了测量精度及抗干扰能力， 特别对于电子束、离子束以及弧放电等强干扰源都有非凡的抗干扰能力。 每组真空计单元均设置有一组继电器输出接口，用来控制气体压强的定值点或区域。定值点及区域可方便自由设定。本仪器通过触摸开关输入的预置参数掉电后可永久保存，该仪器还具有自动量程切换和自动转换发射电流的功能，取消了发射电流、除气电流的调节，控制面板更人性化，操作更简便，开电源即可工作。本机线路设计合理,制作工艺考究,采用了整板设计,波峰焊接，其软件编排独特，算法先进，使仪器的测量与控制稳定可靠。生产过程从采购、设计、加工、调试、检验到售后服务都被ISO9001：2000质量管理体系所覆盖，从而保证仪器具有高品质，达到客户完全满意。 主要技术指标和性能 测量与控制范围: 1.0×105～1.0×10-5Pa 电阻真空计：1.0×105～1.0×10-1Pa 电离真空计：1.0×10-1～1.0×10-5Pa 测量误差: （P-P0）/P0 电阻规≤±50% （2.5×103Pa～1.0×100Pa） ±50% （1.5×100Pa～1.3×10-5Pa）: 电阻规 ZJ-52T 电离规 ZJ-27 电离规电参数：阳极对地电压：225V±2% 阴极中心对地电压：25V±3% 发射电流：1.0×101～1.0×10-1Pa/0.1mA±3% 1.0×10-1～1.0×10-5Pa/1mA±3% 除气方式：焦耳除气，除气功率≧12W 规管灵敏度：0.15Pa-1±15% 5、离子流放大器满度示值误差：≤±3% 6、采样时间:1s 7、控制继电器触点容量: 3A / AC220V 7.供电:AC50Hz 220V±10% / 60W 8.使用环境: 温度-5～40℃ 湿度≤95% 9.面板尺寸: 480×88 mm2 机箱尺寸: 435（宽）×325（深）×88（高）mm3 10．显示方式：5位数字（字符）显示，其中第三位为标志位，如显示 5．5 E – 2表示真空度为5.5×10-2 Pa。 仪器工作原理 ZDF-5227智能复合真空计由定温式电阻真空计和热阴极电离真空计所组成，其工作原理如框图所示。 ZDF-5227智能复合真空计原理框图 定温式电阻真空计是采用气体的热传导现象来测量气体压强的,电阻规的电阻随所处环境中的气体气压变化而变化，这种变化是非线性的。当电阻规精密供电电源保证电阻规热丝温度恒定时,亦即是恒定热丝的电阻值保持不变，由于气体压强的不同, 气体分子带走的热量损失也不同,气体压强越高,带走的热量越多,取其热丝端电压 VT 或流过热丝的电流 IT 值作为补偿参数。由此可得到 VT 或 IT 与气体压强 P 的函数关系。即 : VT=f(Pa)│T=C 或 IT=f(Pa) │T=C 气体压强大小的VT 是通过测量其电阻规热丝的端电压来反映的，VT值经高精度放大器放大,通过A / D变换后送单片机系统进行数据处理, 以指数形式显示相应的测量真空度值;同时，根据需要还能输出各种控制信号、串行的通讯信号及输出与真空度相对应的 0～5V 模拟量的输出。 当被测系统的气体压强低于预置下限定值时,继电器动作,高于预置的上限定值时,继电器复位,输出开关量信号，并设置了其输出状态的指示。 热阴极电离真空计是由电离规管、阳极电源、稳流发射系统、测量线路、A/D变换器及单片机系统等组成。 电离规管的阴极F通过电流而发热，当其温度达到一定值时，产生电子发射，发射电子在向阳极A运动过程中与气体分子发生碰撞，使气体电离，电离形成的正离子被收集极C吸收，在测量范围内离子电流与被测气体压强成正比关系，即： I+=KIeP 式中：I+ 为离子电流，K为规管灵敏度，Ie 为发射电流，P为气体压强。因此，在发射电流和规管灵敏度恒定的条件下，根据离子电流的大小就可以测量出气体压强。反映气体压强高低即真空度高低的离子电流经过测量电路的