超纯水制备精读.ppt

超纯水EDI设备及工艺流程图 超纯水的制备 超纯水情况简介 超纯水制备技术及应用 半导体业超纯水制备工艺流程 1 2 3 4 超纯水制备新技术 基本概况 超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.2MΩ*cm极限值（25℃）。 纯度极高的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。 http://www.RedO 超纯水简介 纯水 是既将水中易去除的强电介质去除，又将水中难以除去 的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。纯水的含盐量在1.0mg/L以下，电导率小于50μs/cm。 超纯水（高纯水）是将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下，电导率小于 0. 2μs/cm。 ... 纯水与超纯水 超纯水 是美国科技界为了研制超纯材料（半导体原件材料、 纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或 其它适当的超临界精细技术生产出来的水 制备技术 离子交换法 反 渗 透法 电 渗 析法 利用离子交换树脂来制取纯水的方法。为制取超纯水，必须把水中的阴离子、阳离子都减到最少的程度，为此必须同 时使用阴离子和阳离子两种交换树脂。 反 渗 透 是一种施加压力于与半透膜相接触的浓溶液所产生的，和自然渗透现象相反的过程。在 反渗透原理基础上发展起来的纯水制备方法便是反渗透纯化水技术。 利用电渗析原理制备纯水，在外电场的作用下，利用阴、阳离子交换膜对离子的选择透过性而使溶液中溶质和溶剂分离的一种物理化学过程。 超纯水常用制备技术 简单介绍 超纯水 医学 半导体 化工 主要应用于电池行溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合 医疗用生化仪、分析仪、血液透析仪用水 ；分析试剂及药品配置稀释用水；生理、病理、毒理学实验用水 ；医药制剂室及中心实验室用水 半导体原材料生产加工、检测和半导体器件的制备用水 超纯水的应用 半导体行业超纯水处理工艺流程 预处理 制备 抛光 回收系统 从原水池到逆渗透膜为系统前处理 结合紫光灯、混床、薄膜脱氧器，可以除去大部分有机物，溶解的氧气及可溶离子 结合紫外灯裂解有机物最后经不再生型抛光混床和超滤，以除去死菌及微粒子 对无尘室里的机台最初和最后的清洗水和含氟废水进行收集，然后用活性炭过滤器进行处理，进入系统循环使用 用膜交换器脱氧 用电脱盐(EDI)技术 新型微滤器的应用 超纯水制备新技术 通过 聚乙烯微滤器合成方法的调整，合 成了具有又能离子交换能力的中空纤维类 型的微滤器 采用膜交换器脱氧，能使水中溶解氧做到 小于1pg /L，能脱除水中游离的二氧化碳 ED I 是近 年来新发展的一种脱盐设备， 是一种使用离子交换膜、离子交换树脂 和电共同来达到脱盐目的的一种装置 Thank you !