俄歇电子能谱..ppt

* 以上结果说明，Si在较低温350℃迅速偏聚，而P的偏聚则在535℃占主导，二者的位置竞争造成了Si偏聚的反转。同样地在P与S之间的位置竞争发生在更高温度(745℃)。用扫描AES(电子束直径约3μm)观察745℃加热10min后置于室温的样品表面，看到P是近似均匀分布的，而S则在某些区域富集。溅射剥离后可知P、S偏聚的层厚仅约为3nm。 * * * 光电子能谱学科的发展一开始就是从两个方面进行的。一方面是Siegbahn等人所创立的X射线光电子能谱，主要用于测量内壳层电子结合能。另一方面是Tunner等人所发展的紫外光电子能谱，主要用于研究价电子的电离电能。 这两种技术的原理和仪器基本相同，主要区别在于，前考采用X射线激发样品，后者采用真空紫外线激发样品。 由于紫外线的能量比较低，因此它只能研究原子和分子的价电子及固体的价带，不能深入原子的内层区域。但是紫外线的单色性比X射线好得多，因此紫外光电子能谱的分辨率比X射线光电子能谱要高得多。 这两方面获得的信息既是类似的，也有不同之处．因此在分析化学、结构化学和表面研究已经材料研究等应用方面，它们是互相补充的。 * 光电子能谱学科的发展一开始就是从两个方面进行的。一方面是Siegbahn等人所创立的X射线光电子能谱，主要用于测量内壳层电子结合能。另一方面是Tunner等人所发展的紫外光电子能谱，主要用于研究价电子的电离电能。 这两种技术的原理和仪器基本相同，主要区别在于，前考采用X射线激发样品，后者采用真空紫外线激发样品。 由于紫外线的能量比较低，因此它只能研究原子和分子的价电子及固体的价带，不能深入原子的内层区域。但是紫外线的单色性比X射线好得多，因此紫外光电子能谱的分辨率比X射线光电子能谱要高得多。 这两方面获得的信息既是类似的，也有不同之处．因此在分析化学、结构化学和表面研究已经材料研究等应用方面，它们是互相补充的。 * * * * * * * * * * * * * 同心球面空隙中的电场，使进入分析器的电子按其能量大小“色散”开，而将能量为某一定值的电子聚焦到出口狭缝。改变分析器内、外两球面的电位差，就能使不同能量的电子依次通过分析器，记录每种动能的电子数，并与其对应的电子能量作图，得到电子能谱图。 * 由两个同轴圆筒组成。样品和检测器沿着两个圆筒的公共轴线放置，空心内同的圆周上开有入口和出口狭缝。外筒加负电压，内筒接地，内外筒之间有一个轴对称的静电场。筒镜分析器的接收角比较大，因此灵敏度比较高，大多数俄歇电子能谱仪都使用CMA。 * * * * * 5、利用XPS进行化学分析的依据是什么？利用XPS鉴别化学状态有哪些方法？ 答：XPS主要研究原子的内层电子结合能。内层电子不参与化学反应，保留了原子轨道的特性，因此其电子结合能具有特征性，不同元素原子可以产生完全分离的电子谱线，所以相邻元素的识别也不会发生混淆。这样就可以对样品表面元素进行定性分析。 6、发射俄歇电子的原理是什么？发射过程涉及几个轨道？如何表示？ 答：电子束辐照物质，似的物质表面元素的原子内层电子被激发形成空穴，较高能级上的电子填补空穴并释放出能量，这一能量再传递给另一电子，使之逸出，最后这个电子称为俄歇电子。俄歇电子的发射涉及三个电子（至少两个电子轨道），用三个电子所在电子能级符号（K、L、M…..)并列表示俄歇电子。 7、试比较XPS、AES、UPS分析方法应用范围与特点？ (1)可测范围广，可分析除H、He以外的各种元素； (2)对于轻元素C、O、N、S、P等有较高的分析灵敏度； (3)可结合化学位移和谱峰变化，对化学态进行分析 (4)配合离子枪，在深度剖析时具有良好的深度分辨率； (5)优异的横向分辨率，小于20 nm，可以显示元素分布像 (6)分析速度快 俄歇电子能谱 (1)可测除H、He外的所以元素 (2)定量元素分析 (3)优异的化学信息，化学位移与完整的标准化合物数据库的联合使用 (4)分析是非结构破坏的；X射线束损失通常微不足道 XPS UPS 研究的是价电子的结合能，主要用来测量气态分子的电离，研究分子轨道的键合性质、定性鉴定化合物种类以及固体表面吸附。 8、电子能谱仪的基本结构 答：激发源（X射线源、真空紫外灯、电子枪） 试样室系统 电子能量分析器 检测器 放大系统 真空系统 数据采集和处理系统 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 1、微电子学的应用 随着大规模集成电路技术的日益发展，需要在更小的微区内了解表面或近表面区、薄膜及其界面的物理性质和化学成分。AES为此提供了有