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Shmoo 图例---Margin Test (潜力测试)用于评价芯片实际能力,通常使用SHMOO PLOT 工具进行分析 AC参数测试 Shmoo 图例 二维Shmoo 同时改变两个 相互关联的参 数,执行功能 测试 红色FAIL区域 绿色PASS区域 AC参数测试 ATE 测试生产测试 (mass production)工程/评估测试 (engineering/evaluation) ATE测试简介 生产测试流程 基本 电性能 测试 重要 AC 参数 测试 功能 测试 连接性测试、漏电流测试、IDD测试 时序宽松、 时序严格、 基本功能、 重要的POPULAR PATTERN 选用engineering的测试方法对重要参数进行测试 ATE测试简介 工程测试 工程测试(engineering) DC参数 测试 AC参数 测试 功能 测试 工程测试 谢谢! *技术交流内存ATE测试 2007年 3月 服务客户,精益求精 概 览 ATE测试和ATE测试设备 ATE测试设备特点 HP83K/T5592简介 ATE测试简介 ATE测试 什么是ATE测试? ATE 是 Automated Test Equipment 的简称,即自动测试设备,它是对内存条或SDRAM芯片的品质进行检测的测试设备。 ATE 测试 即使用自动测试设备对内存条或SDRAM芯片的品质进行测试。ATE测试ATE 的工作原理: 被测器件 (DUT) 测试系统(ATE) Test Program Results Input Output ATE测试设备 高档的ATE测试设备有: Verigy公司的93K系统 Advantest公司的T5581/T5585/T5592系统 KINGTIGER公司的KT-2A PRO系统 特点: 精度高 速度快 完整的电性能、功能和时序测试及分析 价格昂贵专业的厂商使用 T5592系统 T5592系统: T5592系统 T5592系统 T5592系统 T5592系统 T5592系统 KT-2A PRO系统 ATE测试设备 ATE测试设备的特点 高精度的定时性能 大向量内存 可编程的电流负载 Per Pin的时序与电平/电压 高价格 T5592简介 T5592测试系统简介 T5592参数简介 能够测试各种存储器(专用) 最高测试频率可以达到1.066GHz 定时精度达到150ps(OTA) 最大可测试芯片64颗,DDR内存条16条(2Station) Driver与双向口分开,节约成本(存储器特点专门设计) T5592简介 硬件部分 T5592简介 ATE测试简介 ATE测试简介 T5592测试项目 连接性测试 漏电流测试 电源电流测试 功能测试 重要DC AC参数测试SPD的读写测试 T5592简介 连接性测试原理 ATE测试简介 ATE测试简介 漏电流测试原理 ATE测试简介 IDD(动态电源电流)测试原理 功能测试原理 时间条件 电压条件 波形条件 逻辑值 驱动器 (ATE) 比较器 被测试器件 (DUT) 图形文件 RESULT: P/F 芯片 电源 ATE测试简介 功能测试Pattern — Check-board ATE测试简介 功能测试Pattern — March-6N ATE测试简介DC参数测试 DC 参数 测试 电压参数测试 电流参数测试测试方法: 1。加电压测电流、加电流测电压 2。改变DC参数,进行功能测试,找到P/F转变点 3。运行pattern程序,直接对参数测量ATE测试简介 DC测试 ATE测试简介目的:检测芯片的各项电气性能 VSIM ISVM DC test unit DC参数测试 电压参数测试 主要电压参数 电源电压VDD、VDDQ、VREF 输入电压VIL、VIH 输出电压VOL、VOH 测试目的: 评估DUT能正常工作的电压范围 评估输入管脚区分输入逻辑状态的能力 评估输出管脚的输出相应逻辑电压的能力电流参数测试 主要电流参数 电源电流IDD 输入漏电流IIL、IIH 输出漏电流IOL、IOH、IOZ 测试目的: 评估DUT的漏电流大小 评估供给DUT工作时所需的电源电流大小 DC参数测试 工程测试AC参数测试 AC参数测试基本原理:改变需要测试的参数,重复执行功能测试,直到测试结果由PASS转为FAIL为止。记录PASS/FAIL转换点,进行必要的数学运算,得出需要测试的参数实际数值。实质是以时间条件为基础来执行功能测试。AC参数测试 AC参数测试目的: 保证器件的时序参数满足器件SPEC的要求 保证器件在不同的时序条件限制下可正常工作 分析器件时
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