湖南大学文信息检索课综合实习报告.doc

湖南大学文献信息检索课综合实习报告 学生姓名：陈泽锋 学号：20081120404 成 绩_____________ 院（系）：物理与微电子科学学院 专业：电子科学与技术 检索课题（中英文）：集成电路的制造技术及成套工艺 The manufacturing technology and complete set process of integrated circuits 湖南大学文献信息检索课综合实习报告 一、课题分析： 背景知识：集成电路的发展和特大规模集成电路中部份硅生产工艺技术近几年的发展趋势。特大规模集成电路仍然朝着较大直径的硅单片和较小的特征尺寸方向发展。集成电路制造技术及成套工艺是当今全球装备制造业中最尖端的技术之一，是信息技术硬件的核心。随着极大规模集成电路制造装备及成套工艺被列入16大重大专项，无疑为其发展又添一注新的砝码。从科技部2009年申报课题不难归纳，该项目分集成电路装备、关键部件与核心技术、成套工艺、关键材料、前瞻性研究五个主题。该课题主要是研究集成电路的制造技术和成套工艺。主要查阅2000年-2010年的有关文献，文献的类型包括期刊，学位论文，会议论文，图书等。主题词：集成电路，制造技术，成套工艺 二、选择检索工具、检索途径： 主要通过计算机检索查阅二次文献和三次文献，用到的数据库有：中文科技期刊数据库，万方数字化期刊全文数据库，Springer，Elsevier Science，INSPEC，中国学位论文数据库，中国重要会议论文全文数据库，CALIS联合目录公共检索系统。限制字段：主题词，关键词。以及使用逻辑运算符进行组合检索。 三、检索策略： 该课题是与我专业息息相关，也是本专业的一个研究热点。首先了解该课题的背景知识，以便在检索时，调整检索策略和检索式。应用学校图书馆的数字资源，在中外各大数据库中作检索。运用逻辑运算符和截词，及检索的范围，不断调整检索策略，保证检准率和检全率。 四、具体检索： 一、期刊全文数据库检索 1.从中文全文数据库中进行检索（2种以上数据库） 数据库1：中文科技期刊数据库 年限： 2000年-2011年 限定类目： 重要期刊 检索式：任意字段=集成电路*（制造技术+成套工艺） 检出篇数：75篇 题录1：杨建军，刘英坤.Si基微波单片集成电路的发展.半导体技术，2010,35（3）：205-208,281. 题录2：张进，刘玉岭，申晓宁，张伟，苏艳勤.ULSI多层互连中W-CMP速率研究.半导体技术，2009,34（8）：737-740. 数据库2 ：万方数字化期刊全文数据库 年限：2000-2010 限定类目：无 检索式：集成电路*（制造技术+成套工艺） 检出篇数：152篇 题录1：姚瑞楠，刘玉奎，张元正.微型压力传感器薄膜凹槽的制造技术.微电子学，2009,39（3）：410-413,419. 题录2：李小刚.精确传输线的高精度制作技术.国防制造技术，2009，“”(5):55-56. 2.从西文全文数据库中进行检索（2种以上数据库） 数据库1：WSN 世界科技期刊网 (WSN) 检索年限：没限制 检索式：All Fields=integrated circuit 检出篇数：119篇 题录（1篇）：Hiroshi Iwai,Kuniyuki Kakushima, Hei Wong.CHALLENGES FOR FUTURE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING. International Journal of High Speed Electronics and Systems,2006,16(1):43-81. 数据库2：Springer Link 施普林格期刊数据库 (SPLINK) 检索年限：没限制 检索式：integrated circuit*manufacturing 检出篇数：74篇 题录（1篇）：Ruey-Shan Guo,David M. Chiang,Fan-Yun Pai.A WIP-based exception-management model for integrated circuit back-end