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电池线知识归纳 生产流程 一次清洗→扩散→二次清洗→PECVD→丝网印刷→测试分选 各工序作用 一次清洗（制绒工序国产设备）：将硅片表面进行化学腐蚀，去除硅片表面的损伤层并形成绒面。 一次清洗（酸洗工序国产设备）：去除硅片表面的金属离子和氧化层，使硅片表面洁净达到扩散要求。 一次清洗（RENA设备）：将硅片进行化学腐蚀，去除硅片表面的损伤层并形成绒面。 扩散：在清洗后的P型硅片表面通过高温扩散的方式形成一层N型，使整个硅片形成PN结。 二次清洗（等离子刻蚀工序国产设备）：通过气体辉光放电的方式形成等离子体，将扩散后的硅片边缘N型去掉，防止边缘漏电。 二次清洗（清洗工序国产设备）：对等离子刻蚀后的硅片表面进行化学清洗，去除硅片表面的磷硅玻璃。 二次清洗（RENA设备）：对扩散后的硅片表面进行化学刻蚀及化学清洗。 PECVD:通过等离子化学沉积的方法形成氮化硅薄膜，以增加表面的光吸收和减少硅片表面的载流子复合。 丝网印刷：通过丝网印刷的方法，将导电浆料印刷到硅片上，以引出太阳能电池的电极，最后通过烧结炉对硅片进行烧结，使电极材料和硅形成良好的欧姆接触。 测试分选：对烧结后的电池片的电性能进行测试，并根据其转换效率进行分选，最后按档位分别包装入库。 各工序所用设备和工具以及原辅料 工序名 所用设备和工具 所用原辅料 一次清洗（制绒工序国产设备） 制绒清洗机、花篮、片盒、推车 NAOH 、 HF、 Na2SiO3 、IPA 氮气、去离子水 一次清洗（酸洗工序国产设备） 酸洗清洗机、甩干机、花篮、片盒、推车 HF 、HCl 、氮气、去离子水 一次清洗（RENA设备） RENA一次清洗机、片盒、周转车、推车 HF、HNO3 、氮气、去离子水、 KOH、 H2SO4 扩散 石英舟、石英吸笔、舟叉套管、净化插片台、卸片台、扩散炉、承载片盒、方块电阻测试仪、少子寿命测试仪 三氯氧磷、三氯乙烷、氧气 氮气、氢氟酸、盐酸、去离子水 二次清洗（等离子刻蚀工序国产设备） 夹具、垫板、等离子刻蚀机、冷热探针 四氟化碳、氧气、氮气 二次清洗（清洗设备） 二次清洗机、甩干机、花篮、片盒、推车 HF、氮气、去离子水 二次清洗（RENA设备） RENA清洗机、片盒、周转车 硝酸、HF、KOH、HCL 氮气、去离子水 PECVD（板式） 板式PECVD镀膜设备、石墨框、片盒 硅烷、氮气、氨气 PECVD（管式） 管式PECVD镀膜设备、石墨舟、片盒石英吸笔、周转车 氨气、硅烷、氮气 丝网印刷 印刷机、烘干炉、网版浆料搅拌机、烧结炉 单晶：PV147、儒兴铝浆、PV149多晶: PV505、儒兴铝浆、PV16A 测试分选 测试分选仪、塑封机、包装机 泡沫盒、瓦楞板、封箱带 主要设备工艺参数 一次清洗（制绒工序国产设备） 片源 1#预清洗 3#去损伤 5#—8#制绒槽 初始配比 时间(S) 温度(℃) 初始配比 时间(S) 温度(℃) 初始配比 时间(S) 温度(℃) 自动补液 手动补液 硅切部片源 3KG柠檬酸 120 90 2KG氢氧化钠 60 70 1.25KG氢氧化钠6L IPA.0.7L制绒辅助品 1100 76 每过一篮补625ml氢氧化钠 250ml IPA 每过3篮补100ml制绒辅助品 外购片 3KG柠檬酸 60 90 15KG氢氧化钠 80 80 1.25KG氢氧化钠6L IPA.0.7L制绒辅助品 900 76 每过一篮补625ml氢氧化钠 250ml IPA 每过3篮补100ml制绒辅助品 二线工艺参数对照表 片源 1#预清洗 3#去损伤 5#—8#制绒槽 初始配比 时间(S) 温度(℃) 初始配比 时间(S) 温度(℃) 初始配比 时间(S) 温度(℃) 自动补液 手动补液 硅切部片源 3KG柠檬酸 120 90 2KG氢氧化钠 60 70 1.25KG氢氧化钠6L IPA.0.7L制绒辅助品 1100 76 每过一篮补1250ml氢氧化钠 300ml IPA 每过3篮补100ml制绒辅助品 外购片 3KG柠檬酸 60 90 15KG氢氧化钠 80 80 1.25KG氢氧化钠6L IPA.0.7L制绒辅助品 900 76 每过一篮补900ml氢氧化钠 300ml IPA 每过3篮补100ml制绒辅助品 七、八线工艺参数对照表 一次清洗（酸洗工序国产设备） 槽位 功能 配比 液位 时间 1# HCl HCl 20L 最上面刻度 120s 2# 漂洗 / / 120s 5# 混合酸洗 HF 20L HCl 8L 最上面刻度 120s 6# 喷淋 / / 100s 7# 漂洗 / / 100s 8# 慢提拉 / / 30s 9# 烘干 / / 300