ME08-10ZSXPrimusInstructionChapter4.doc

4. 元素分布分析（选购项） 4.1 引言 1 4.2 分布分析表 2 a.分布分析坐标 3 b. 建立分布分析表 4 c. 测量点的删除 6 e. 测量点的插入 7 4.3 微小区域分布分析测量 9 a. 样品装入 10 b. 分布分析位置的指定 11 c. 分析条件设置 14 d. 分析和样品卸载 16 4.4 分布分析数据处理 17 a. 显示方法 20 b. 数据的色彩显示 25 c. 生成图像文件 29 d. 分布分析数据显示和输出 31 e. 删除分布分析文件 32 f. 打印 33 4.1 引言 元素分布分析功能是本系统配备的选购项。所谓元素分布分析就是通过样品台的移动，对样品中元素的分布进行的分析。与普通的小直径分析一样，元素分布分析可以是定量分析也可以是定性分析。由于测量时仅移动样品，X射线强度的角度分辨率不会随分析位置而变化，所以可以进行稳定的分布分析。 在元素分布分析中，一般要使用事先指定测量位置的测点分布表。借助于CCD相机，可以进行微小区域的分布分析，可以对装在样品盒中的样品的表面照相，并根据照片确定测量位置。 本章介绍以下内容：建立测点分布表的方法、微区元素分布分析的设置方法、以及分布分析数据处理。 使用端窗X射线管的光谱仪可以进行元素分布分析，其必要的选项见下表。使用侧窗X射线管的光谱仪不能进行元素分布分析。 当光谱仪有样品观察机构装置（选购项）时，才可以使用元素分布分析和微小区域分布分析。  4.2 分布分析表 当系统配备有样品观察机构装置时，即可进行样品的元素分布分析。进行元素分布分析时，必须事先设置样品的测量位置。分布分析表是记录所设置的测量位置的表格，同时也是建立测量位置表的程序。 在该程序中，测量位置可以用r-θ法指定，也 可按X-Y法指定。分布分析表可用于SQX分析或定量分析。 1. 点击菜单上的 应用程序 选择 [分布分析表] 如果在同一坐标设置了两个以上测量位置，则该坐标位置的测量次数就等于所设置的测量位置数。  a.分布分析坐标 分布分析在样品上的测量坐标是这样定义的：样品盒的标记角度为180度。 如下图: 光学标记用于确定从光谱仪样品观察位置上由CCD照相机获得图象的样品盒的方向。X-射线标记通过标记测量附近确定测量位置样品盒的方向。 样品的中心就是坐标中心。 r-θ坐标下，θ开始点是在标记的对面并反时针增加。  b. 建立分布分析表 用r-θ法指定测量位置，建立分布分析表。可使用由交叉点指定测量位置的方法和在图形窗口添加测量点的方法。在这两种方法中，如果测量点是在图形窗口指定的话，其坐标会按指定顺序显示在列表中。 建立分布分析表 1. 选择“文件[F]”-“新建[N]” 2. 输入“MAP001”作为“表名” 3. “坐标”选择为 r-θ 4. 点击 OK 5. “栅格线”选择为〈显示〉 6. 需要时，在“栅格线”框中的“步长”处，改变r 值 7. 需要时，在“栅格线”框中的“步长”处，改变θ值 8. 点击 添加交叉点 9. 需要时，点击图形窗口，添加测量点 10. 选择“文件[F]”-“保存[S] ”  改变坐标 在用r-θ坐标或X－Y坐标指定了测量位置以后，还可将坐标转变为其他坐标。在测量点坐标表中，屏幕显示的测量点坐标被转换。 1. 选择“选项[O]”- “设置[S]” 2. “坐标”选择为〈r-θ〉或〈X－Y〉 3. 点击OK. 用数字指定测量点 在图形窗口中指定测量点时，测量点的坐标会显示在表中。在r(mm)、θ(度)、 X(mm) 或Y(mm) 栏中的值可以进行转换。测量点列表中的最下一行是空白行。在该行中输入数值，可以添加测量点。 1. 双击测量点列表中的一个目标“r(mm)” 或 “X(mm)” 2. 输入r 或 X 值 3. 双击测量点列表中的一个目标“θ(度)” 或 “Y(mm)” 栏 4. 输入一个θ值或Y值 如果在测量点列表的最下行输入一个坐标值，则其他坐标值从其前一行拷贝 如果在测量点列表的最下行中仅按“ Enter（回车）”键，而其两栏均为空白，则输入光标移到表的顶栏。  c. 测量点的删除 可以删除所有测量点或删除指定测量点。当删除指定测量点时，最后指定的测量点可以被粘贴。换句话说，最后指定的测量点只是暂时被剪切。当删除所有测量点时，不能进行粘贴。 删除所有测量点 所有测量点均被从坐标列表和图形窗口中删除： 1. 选择“编辑[E]”- “删除所有点[I]” 或者，可以先指定所有测量点，然后删除： 1. 选择“编辑[E]”- “全选[A]” 2. 选择“编辑[