西区电池硅烷塔SOP.docx

文件编制/更新过程一览表序号编制/更新原因版本日期1首次发行002011-4-5一．目的为保证硅烷排气系统的持续有效运行，降低故障率，提高使用寿命，避免因操作失误导致各种安全事故的发生，特制定本作业，指导书，便于员工操作和维护保养。二．适用范围本作业指导书适用于西区1#、2#电池硅烷塔排气系统。三．系统供应范围及要求3.1 供应范围：将1#2#电池车间PECVD所产生的硅烷、氨气通过集风管输入硅烷燃烧塔内，通过燃烧，洗涤，清渣等工序处理，处理过的废气符合国家废气排放标准排放到大气中。3.2：系统流程：3.3 设备运行、维护和保养要求每4小时巡检各设备的运行情况，并有计划、有记录地完成各机电设备的日常维护与简单保养，以确保硅烷排风系统及相关附属系统正常、稳定且高效地运行.四．设备说明硅烷塔净化系统主要设备包含不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统、清渣系统、废水排污分离、仪表、分析仪及控制设备。4.1设备规格　硅烷排风系统硅烷排气系统A不锈钢硅烷燃烧塔型号HWR-5处理风量≤32000m3/h≤10000m3/h硅烷净化率%≥99.99玻璃钢氨气净化率%≥99.99压缩空气量L/MIN400氮气量L/MIN200B所配风机　型号GBF4-72-12 5A风机GBF4-72-12 6C风机功率2.2KW7.5KW转速1450r/min1800r/min流量3977m3/hC循环泵浦　型号SPT-50SP-5-5NF　流量16.8m3/h19.2m3/h扬程14.0电机功率3.75KW2.2KW转速2860r/min2860r/min　型式竖轴离心式无轴封竖轴离心式无轴封D电源电压Ac380频率50HZE外形及安装尺寸塔直径DN1400排气直径D1350进气直径265*5出风管D3400新风进气口100*100塔总高H3240H1500H2750H3≥400H4≥100L12800L260004.2 硅烷排风系统各部件介绍硅烷燃烧塔筒是由优质不锈钢板制造，根据硅烷与空气接触自燃的特点，使硅烷在燃烧室内与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理，使废气和中和循环液接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。以下为各部分介绍：操作说明5.1 风机切换操作：5.1.1切换步骤： 1） 检查B风机电源线是否正常； 2）查看硅烷排气主管负压值并记录； 3) 开启B风机，查看 B风机转向是否正确，等频率稳定后将B风机的风阀打开； 4) 查看硅烷排气主管负压值，调整B风机频率，使负压表压力值调整至风机切换前的压力值。切换风机的时候，要先把备用的风机打开，点动备用风机，确认正转后，开启风机，然后再打开相应的风阀。切换好以后，关闭需要检修的风机时，要先关闭对应的风阀后，再停止风机。5.1.2 切换后检查：查看风机运转电流是否在正常范围；检查风机的转向及硅烷排风负压是否正确； 5.2 年度停机检查 5.2.1 电盘检查1）用毛刷清除电盘内各元器件上的灰尘； 2）检查电盘内各接线有无烧焦痕迹、各接线是否有松脱； 3）检查电盘内隔离开关、空开动作是否正常，有无跳脱卡扣现象； 5.2.2 风机检查 1）检查风机及电机螺丝是否有松脱、避镇器是否有损坏； 2）检查风机运转是否正常； 3）检查风管是否有漏风现象； 4）检查压差表显示是否正常、电流值是否正常；维护保养 6.1 风机维护保养6.1.1 根据使用情况每年维修、更换轴承、风机叶轮。6.1.2风机过长时间未运行，最好是点动开关，即风机一转动又立即停止，以便确认风机内部无杂物，风机叶轮噪声正常后，风机再投入运转。6.1.3每天定期检查风机运转情况是否正常，电机电流是否在额定范围内，电机温升如有异常，要立即处理。 6.2电机操作、维护保养6.2.1每日检查电动机的温升是否正常，配备有注油口的电机，每周在注油口处加注耐高温优质黄油。6.2.2如有非正常噪音，检查电机冷却风扇叶轮及相关轴承运行情况。6.2.3经常检查电机导轨是否松动、移位，以免影响风机的正常运转。6.2.4注意观察电机带轮与风机带轮的平行度，并与皮带保持垂直状态。6.3 硅烷塔保养6.3.1 每日巡检时通过液位计观察硅烷塔内水位情况，若水位低，及时开启补水阀，若水位高于浮球阀，则开启排污阀，保证塔内液位处于浮球阀齐平位置。 6.4 保养注意事项6.4.1 每天巡检，确认阀门及压缩空气和氮气输送管道是否氧化（特别是高温天气）；6.4.2 每天巡检硅烷塔水位情况，检查浮球阀，补水阀，排污阀等是否良好。6.4.3每三个月对电机轴承加油6.4.4 每六个月（也可按实际情况而定）对硅烷塔内填料进行更换七、异常处理7.1应急作