西区特气系统SOPx.doc

目录 一，目的 3 二，特种气体介绍 3 2.1 氨气 （NH3) Ammonia 3 2.2 硅烷（SIH4) Silane 3 三， 特气系统的组成 4 四，特气系统介绍 4 4.1 硅烷系统 4 4.2 氨气系统 5 4.3 VMB 5 4.4 尾气排放系统 6 五，特气输送流程及操作系统描述。 6 5.1工艺流程 6 5.2特气钢瓶更换步骤 7 6.2.1更换Y瓶和钢瓶准备事项 7 6.2.2更换Y瓶和钢瓶操作程序 7 5.3吹扫流程及阀门互锁的说明 12 5.3.1吹扫流程及标准参数 12 5.3.2各吹扫步骤阀门互锁状态 12 6.3.4主要规格说明 13 六，特气监测系统 14 6.1系统设备 14 6.2 系统操作 15 七．安全及紧急处理事项 20 7.1 危险气体理化性质简述 20 7.1.1氨气（NH3） 20 4.1.2硅烷（SiH4） 20 4.1.3氯气（Cl2） 21 4.1.4氮气（N2） 21 7.2 安全设施 21 7.2.1 应急电源 21 7.2.2 紧急切断保护 21 7.2.3 环境安全侦测器 21 7.2.4防护用具 22 7.2.5氨气系统配备安全设施 22 7.2.6 硅烷系统配备安全设施 22 7.3 紧急事项 22 八．报警异常处理 23 8.1一级黄灯报警 23 8.2 二级红灯报警 23 8.3 报警故障排查 24 九．注意事项 24 9.1运营值班作业 24 9.2 抄表巡检作业 25 9.3 更换钢瓶作业 26 十，年度维护 26 十一．应急作业流程 27 十二、记录及参考文献 27 12.1 记录 27 12.2 参考文献 27 附件1： 28 天合光能西区SIH4换瓶操作步骤记录表 28 附件2： 31 天合光能西区NH3换瓶操作步骤记录表 31 一，目的 为确保西区2#电池特气系统的持续有效运行，以及特气操作人员安全正确的更换钢瓶，特制定本作业指导书，便于全体员工的操作和维护。 二，特种气体介绍 2.1 氨气 （NH3) Ammonia 无水氨气是一种刺激性、无色、可燃的储存与钢瓶的液化压缩气体。其存储压力为其蒸汽压114psig。氨气会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险。 进入浓度超过暴露极限的区域要佩戴自给式呼吸器（SCBA)。大规模泄漏时需要全身防护服，并因随时意识到潜在的火灾和爆炸危险。 氨气被列为高毒性化学品。皮肤接触液体，脱掉被污染的衣物，用大量温水冲洗几分钟，并立即进行药物处理。 一但氨气泄漏着火，应从泄漏区疏散所有的人，如有可能，在没有危险的情况下切断氨气泄漏源，然后更据燃烧的物质用干粉、二氧化碳或水灭火。如有可能，从火场移走临近钢瓶并用大量水冷却直至熄灭。救火中流出的水等可能被污染，检测其PH值。它与汞混合可形成爆炸物。 硅烷（SIH4) Silane 硅烷（SIH4) Silane化学名称氢化物。可自燃气体。硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。 该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定形二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自然的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自然会非常危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火。 硅烷会刺激眼睛、皮肤。吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。 硅烷泄漏引起人员灼伤时应由受过培训的人员急救，并立即寻求医疗处理。眼接触：立即用水冲洗最少15分钟，水流不要太快，同时翻开眼睑。使受难者为O形眼，立即寻求眼科处理。 对于小型的泄漏，如果不能阻止泄漏而且泄漏也不会伤害人，让火焰自然熄灭。用大量水为周围的钢瓶喷淋降温，直到火焰熄灭。在大的火灾中，应该用自动管支架和控制喷嘴从远距离灭火。处理火灾初期时， 要对眼睛进行保护。如果是大火，需要自给式呼吸器和全身防护服。如有必要，用肥皂水刷洗灭火设备。 1， 晶硅太阳能厂房所指的特气主要包括普通氮气（GN2)、高纯氮气（PN2)、氨气（NH3)、硅烷（SIH4)、四氟化碳（CF4）等（本车间由于清洗工艺的不同，不需用CF4）。 2， 气体输送设备包括氨气BSGS、硅烷BSGS、高纯氮气气瓶架，供应7—12线PECVD和一台OTB设备共5个VMB，包括7—9线SIH4和NH4各一台VMB，10—12线SIH4和NH4各一台VMB，还有O