半导体材料概念简介---选修课论文.doc

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半导体材料 摘要:目前半导体产品广泛应用于生活生产中,半导体材料及其应用已经成为衡量一个国家经济发展和科技进步的重要标志。本文对半导体材料的定义、特性性能、材料分类及应用和发展方向作出简要解析。 关键词:半导体材料 半导体半导体特性 制备方法 半导体材料目前无论在理论方面,还是在应用方面,半导体的研究正在很快地发展。 2.2半导体材料的制备 2.2.1分子束外延技术(MBE) MBE技术实际上在超高真空条件下,对分支或原子数源和衬底温度加以精密控制的薄膜蒸发技术。MBE生长过程实际上是一个具有热力学和动力学同时并存,相互关联的系统。只有在由分子数源产生的分子束不受碰撞地直接喷射到受热的洁净衬底表面,在表面上迁徙,吸附或通过反射或脱附过程离开表面,而在衬底表面与气态分子之间建立一个准平衡区,是晶体生长过程接近于热力学平衡条件,即使每一个结合到晶格中的原子能选择到一个自由能最低的格点位置,才能生长出高质量的材料。 2.2.2金属有机化学汽相淀积技术(MOCVD) MOCVD使用氢气将金属有机化合物蒸汽和气态非金属氢化物经过开关网络送入反应式加热的衬底上,通过热分解反应而最终在其上生长出外延层的技术。 2.2.3半导体微结构材料生长和精细加工相结合的制备技术 利用MBE 或MOCVD等技术首先生长半导体微结构材料如AlGaAs/GaAs2DEG材料等,进而结合高空间分辨电子束曝光直写,湿法或干法刻蚀和聚焦离子束注入隔离制备纳米量子线和量子点,即常说的所谓自上而下的制备技术。 2.2.4应变自组装纳米量子点线结构生长技术 应变自组装纳米量子点线结构材料的制备是利用SK生长模式,它主要用于描述具有较大晶格失调而界面能较小的一支结构材料生长行为。 半导体材料的发展历程及应用 3.1半导体材料的简略发展历程 半导体材料从发现到发展,从使用到创新,拥有这一段长久的历史。宰二十世纪初,就曾出现过点接触矿石检波器。1930年,氧化亚铜整流器制造成功并得到广泛应用,是半导体材料开始受到重视。1947年锗点接触三极管制成,成为半导体的研究成果的重大突破。50年代末,薄膜生长激素的开发和集成电路的发明,是的微电子技术得到进一步发展。60年代,砷化镓材料制成半导体激光器,固溶体半导体此阿里奥在红外线方面的研究发展,半导体材料的应用得到扩展。1969年超晶格概念的提出和超晶格量子阱的研制成功,是的半导体器件的设计与制造从杂志工程发展到能带工程,将半导体材料的研究和应用推向了一个新的领域。90年代以来随着移动通信技术的飞速发展,砷化镓和磷化烟等半导体材料成为焦点,用于制作高速高频大功率激发光电子器件等;近些年,新型半导体材料的研究得到突破,以氮化镓为代表的先进半导体材料开始体现出超强优越性,被称为IT产业的新发动机。 3.2半导体材料的应用 3.2.1元素半导体材料 硅在当前的应用相当广泛,他不仅是半导体集成电路,半导体器件和硅太阳能电池的基础材料,而且用半导体制作的电子器件和产品已经大范围的进入到人们的生活,人们的家用电器中所用到的电子器件80%以上与案件都离不开硅材料。锗是稀有元素,地壳中的含量较少,由于锗的特有性质,使得它的应用主要集中与制作各种二极管,三极管等。而以锗制作的其他钱江如探测器,也具有着许多的优点,广泛的应用于多个领域。 3.2.2有机半导体材料 有机半导体材料具有热激活电导率,如萘蒽,聚丙烯和聚二乙烯苯以及碱金属和蒽的络合物,有机半导体材料可分为有机物,聚合物和给体受体络合物三类。有机半导体芯片等产品的生产能力差,但是拥有加工处理方便,结实耐用,成本低廉,耐磨耐用等特性。 3.2.3非晶半导体材料 非晶半导体按键合力的性质分为共价键非晶半导体和离子键非晶半导体两类,可用液相快冷方法和真空蒸汽或溅射的方法制备。在工业上,非晶半导体材料主要用于制备像传感器,太阳能电池薄膜晶体管等非晶体半导体器件。 3.2.4化合物半导体材料 化合物半导体材料种类繁多,按元素在周期表族来分类,分为三五族,二六族,四四族等。如今化合物半导体材料已经在太阳能电池,光电器件,超高速器件,微波等领域占据重要位置,且不同种类具有不同的应用。 今天,半导体已广泛地用于家电、通讯、工业制造、航空、航天等领域。1994年,电子工业的世界市场份额为6910亿美元,1998年增加到9358亿美元。而其中由于美国经济的衰退,导致了半导体市场的下滑,即由1995年的1500多亿美元,下降到1998年的1300多亿美元。经过几年的徘徊,目前半导体市场已有所回升。 硅单晶及其外延。现在电子元器件90%以上都是由硅材料制备的,全世界与硅相关的电子工业产值接近一万亿美元。 从整个半导体材料和信息技术发展来看,目前的信息载体主

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