磁控溅射技术和透明导电薄膜精选.ppt

磁控溅射技术和透明导电薄膜 薄膜的种类及应用 磁控溅射技术原理及应用 透明导电薄膜性能及应用 薄膜： 在固体表面上镀上一层于基体材料不同的薄层材料。 厚度通常在几微米以下。 薄膜的种类及应用 电子工业：电极、电阻膜、电介质膜、绝缘膜、透明导电膜、超导膜等。 光学工业：荧光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。 机械工业：硬化膜、耐热膜、耐腐蚀膜等。 能源工业：聚热膜、防反射膜、透射膜等。 传感器：热敏、气敏、压敏、氧气传感器、红外线传感器等。 其它：装饰膜等。 电学薄膜 光学薄膜 机械薄膜 装饰薄膜 薄膜的制备手段 气相法： 化学气相沉积（CVD） 物理气相沉积（PVD）——热蒸发 溅射 离子镀 分子束外延 液相法：化学镀、电镀、浸渍镀等。 其他方法：喷涂、涂敷等。 溅射原理 溅射示意图 成膜示意图 薄膜的生长 电子在正交电磁场中的运动 磁控溅射靶材结构图 磁控溅射仪器结构图 磁控溅射仪器外观 磁控溅射技术的优点 薄膜与基底的结合力强。 镀膜均匀，可镀大面积薄膜。 镀膜种类丰富：各种金属(合金)薄膜 各种金属氧化物、碳化物、氮化物、硼 化物等薄膜 其它(如类金刚石薄膜等) 基底种类丰富：金属、玻璃、陶瓷、 有机玻璃(薄膜)等 透明导电薄膜 厚度：几十～几百纳米 透明性：与玻璃接近 导电性：与金属接近 透明导电薄膜种类 氧化铟锡（ITO） 掺铝氧化锌（ZAO） 多层结构： ITO/Ag/ITO、TiO2/Ag/TiO2、ITO/ZnO、 SiO2/ITO ITO薄膜电学性能 电阻率 7×10-5~10-4Ω?cm 与金属铅导电能力接近。 ITO薄膜光学性能 其他性能 反射红外线（热镜） 反射电磁波（80%） 吸收紫外线 透明导电薄膜的应用 液晶显示器（LCD） 触摸屏 太阳能电池 除霜防雾 保温、隔热 电磁屏蔽 军事领域： 雷达隐身 透明导电薄膜发展前景 材料的选择：开发新材料 应用：拓展新领域 谢谢！ * * 大型多弧离子/磁控溅射镀膜机。可在较大体积的工件表面镀制厚度均匀的金属、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、导电透明等多种功能薄膜。 *