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SST-PP-P201静电管理..doc

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SST-PP-P201静电管理.

(Process Owner : 制造技术科职员(制造技术)基板制造技术科职员(SMD)基板制造技术科职员(PBA)) Definition 对可能影响产品质量的静电进行预防、消除及隔离的控制管理。 Purpose 减少静电对元件的损坏,提高产品可靠性。避免高集成度、低功耗半导体元件因静电损坏,而造成整个产品不良,以此确保质量,降低经济损失。 提高全员的防静电意识 Policy 静电保护通则 直接接触 ESD(Electro-Static Discharge静电释放)敏感器件或插件的工序,必须实行 ESD 保护性操作。严禁在没有防护措施的状态下接触产品,操作区域内静电起电电压宜控制在 100V 以内。 间接接触 ESD 敏感器件或产品的工序,应实行 ESD 保护性操作,操作区域内静电起电电压宜控制在 250V 以内。 ESD 敏感产品的传递应使用抗静电容器 ESD 敏感产品必须使用 ESD 保护包装 ESD 敏感产品生产线及关键工程应设静电警示标志,非操作人员不得进入生产线,必要时应穿 ESD 防护服装。 在未采取任何 ESD 保护措施的情况下,不得将产品从周转容器或包装箱内取出。 ESD 保护原则 一是控制可能产生的静电电压,任何操作可能产生的静电电压都应控制在使用器件的敏感电压以下;二是避免静电放电。 ESD 保护区 在保护区内,静电起电电压应限制在一定静电敏感范围以内,保护区必须满足以下条件: 保护区内可能产生静电的物品要移走,禁止不必要的物品移动。 保护区应当没有静电源,空气温湿度保持在正常范围内(湿度:40RH%~60RH%,温度:18度~25度)。 处理静电敏感元件的工作台表面应使用静电保护材料加工,以防摩擦起电。 在静电敏感元件附近工作的操作人员,应戴手腕带或穿防静电鞋,防止静电放电或感应起电对静电敏感元件造成损坏。 设备上的静电必须通过接地释放。 最好利用防静电材料和导电材料处理地板 操作人员的衣服、没有接地的测试设备或塑料制作的工具在操作时也可能产生静电,造成损害,因此有条件时穿防静电工作服,把设备接地,用防静电材料制作工具。 ESD 保护技术 接地安全要求 电流是对人体冲击强度标准的重要变量,应该注意到电流对人体的影响 。 ESD保护面积、设备与器材和安全工作区的接地应保证在正常工作的全部时间内同处于一个地电位。 对于载流导线,不允许使用屏蔽编织护套做接地线。 应该特别注意,不得将系统交联接地,避免人体对地的等效电阻降低到危险程度。 接地方法 在ESD保护中,任何接地方式均应保证接地系统能以该部位静电产生的相同速度泄放、耗散电荷。 接地极可使用埋入大地的金属导体或埋入大地的金属建筑构件,对地电阻值应小于 4 欧姆。 允许一般电器接地与静电接地极兼用,但必须熟悉全程接地回路,接地点应设在便于检查的位置。 连接方式宜采用冷压接、锡焊、加弹簧垫圈的螺纹连接,不得使用自由缠绕。 导体与导体之间或导体与大地之间绝缘状态下需接地时,允许使用跨接电缆。 ESD 保护面与设备器材接地 保护面内应具备接地母线,自动插件、波峰焊接、清洗及其它电器设备需硬接地。 元件整形、手工插装流水线等设备应通过台垫软接地。 烙铁应硬接地,变压器或直流电源应与电力线隔离,热烙铁头至地的电阻应小于 20 欧姆。 台垫、地板、腕带应分别接地,每一工作台系统应单独接地,不得串联或并联后接地。 腕带应软接地,限流电阻应装于连接电缆靠手腕按扣一端。 常用的 ESD保护器材及技术要求 正确选用ESD保护器材是迅速可靠地消除静电积累的保证。 常用的保护器材有:PVC(聚氯乙烯)塑料地板、防静电工作服、工作鞋、工作台、台垫、腕带、容器、静电安全工作台(等电位工作系统)、去离子风机。 技术要求: PVC塑料地板:系统电阻在 105 - 107 欧之间。 防静电工作服:按国标 GB12014-89 ,每件工作服的电荷密度小于 0.6 uc 。 防静电工作台:任意一点对地电阻值在 105- 109 欧姆之间。 防静电工作鞋:国标 GB4385-84规定,防静电鞋鞋底的电阻值在5*106-1.0*109欧姆之间。 防静电腕带 :系统电阻在于106 - 107 欧姆 / 厘米。 标志: 防静电工作区内设立明显的警示标志,避免无关人员进入,以黄底黑字为宜。 防静电工作区的管理 制造部门对本规则的组织实施负责,相关部门按本规则的要求执行。 防静电工作区域的设立 整形、插件、装配、测试及库房均设为防静电工作区 , 并备有明显的防静电警示标志。 防静电工作区由班长负责管

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