铸锭炉常见故障浅析铸锭炉常见故障浅析.doc

多晶硅铸锭炉常见故障维护浅析 许高升，孙玉虎，张阳 晶海洋半导体材料（东海）有限公司，江苏连云港 222000 摘要：本文重点介绍了太阳能级多晶硅铸锭炉的常见故障和突发事件的应急处理办法。 关键词：多晶硅；光伏；铸锭炉；设备维护 1 概述 近年来，太阳能光伏企业作为一种绿色无污染的新能源产业，在我国得到了快速的发展。多晶硅铸锭太阳能级多晶硅锭自动化程度高的智能化大生产设备①水流量计旋转体是磁性材料，容易吸附金属颗粒造成运转不畅或卡住，会造成水流量数值减小或为0，需清除吸附的杂质；②水管路系统积垢也会造成水流计数值减小，需冲洗管路。 3）水流量计电路板损坏； 由于漏水等原因易造成水流量计电路板损坏，这时电源线正常，无脉冲输出电压信号，需更换新的流量计（注意切断PLC电源，以免损坏PLC）。 4）水流量对应处理模块损坏； 此种情况一般会造成多路水流量为0。 2.1.3真空度不够 具体表现为抽空能力下降达不到平时的极限真空度、检漏通不过。可能原因如下： 1）真空泵抽空能力下降 此种情况最好将真空泵脱离铸锭炉系统，单独检测泵的真空度。如真空泵机组有问题，重点检查以下几点： ①：滑阀泵润滑油脏污或含有冷凝水。这时需蒸发掉水，必要时更换泵油； ②：滑阀泵机封损坏，这时在地面上会出现大量漏油。需更换新的机封； ③：滑阀泵排气阀片损坏，表现为滑阀泵抽气能力下降，罗茨泵抽气能力正常。这时需更换新的排气阀片； ④：罗茨泵抽气能力下降：如发现机封处漏油、油面发黑，则为罗茨泵外部机封损坏；如发现真空泵油从油腔被吸进泵内，则为罗茨泵内部机封损坏。需更换新的机封。 2）炉体或管路系统存在漏点 如真空泵机组抽真空能力正常，则重点检查铸锭炉的密封情况。①检查炉体大橡胶密封圈是否有脏污或损坏；②检查过压保护安全排气阀是否松动；③检查管路系统密封装置是否有松动；④检查TC管是否漏气等。 3）真空压力表精度不够 判断真空压力表精度是否降低，往往表现为极限真空达不到，但检漏能过，需重新校准。 2.1.4 TC管泄漏报警 检漏阶段，炉内压升率超过规定数值，会触发TC管泄漏报警。炉子运行阶段，压力值低于标准设定值也会触发此类报警。这时应该首先检查参数设定值是否被人为改动，如被改动要更正过来；若参数正确，应逐个检查判断是那一个TC氧化铝管漏气，需更换掉。此类情况较为常见，好的氧化铝管寿命在6-8个月之间。需要强调的是如果在自动运行中出现此类报警，只需要关闭所有TC管路阀门，防止空气进入炉内，待出炉后更换。 2.1.5隔热笼故障 表现为2种情况：①隔热笼不动，操作界面出现偏差报警；②隔热笼运行时发生倾斜现象。主要原因如下： 1）机械故障 检查隔热笼电机及减速机、软轴装置、直线传动单元、各紧固螺丝有无松动。热笼电机及其减速机传动精度稍有偏差就有可能引起隔热笼运行精度偏差。 2）电器装置 检查伺服驱动器是否异常，检查电机电压是否正常，检查电源线及编码器接线是否松动，对应驱动模块是否损坏，必要时重新安装驱动程序并置零。伺服驱动器异常可以通过运行指示灯和故障指示灯来判断。 2.1.6下炉体升降故障 故障表现为下炉体不动或倾斜 1）下炉体不动 检查电机是否运转、驱动皮带是否断裂或松脱，检查PLC驱动模块是否损坏，检查伺服驱动器报警参数及设置状况，各接线是否完好。检查直线传动单元、各紧固螺丝有无松动等。热笼电机及其减速机传动精度稍有偏差就有可能引起隔热笼运行精度偏差。 2）下炉体倾斜： 多半是软轴联轴器螺丝松脱或软轴断裂造成3个滚珠丝杆结构运转不同步所致。 2.1.7电流失衡 表现为两个电极峰值电流偏差在400安以上，可能原因有： 1）slimpaks电流处理器精度偏差 将炉子在真空状态下手动小功率加热，重新校准slimpaks电流处理器，使其在50安培以内。再逐渐手动加大功率，查看电流偏差是否正常。 2）检查加热器及其对地电阻 检查加热器是否完好，对地电阻是否在2千欧以上。石墨加热器老化内部电阻不平衡也会导致此类问题。 2.1.8压缩空气故障报警 压缩空气源出现故障，气体压力低于设定值如65PSI会发出此类报警。可能原因有： 1）压缩空气压力不足或者阀门未打开 解决办法打开阀门或增大供气量。 2）过滤器堵塞 解决办法清理过滤器 3）压力报警开关设置错误 重新设置压力报警开关参数。 2.2 自动运行过程中故障报警的应急处理 2.2.1 TC热电偶故障报警 表现为热电偶读数异常，与实际值相差甚远。可能原因有： 1）热电偶接线松动或热电偶损坏 解决办法：铸锭炉转换为功率加热，检查热电偶电阻，确认是否完好。如损坏调用相似功率曲线运行，带出炉后更换。 2）电器故障 热电偶信号处理模块或模块电源出现故障，也会导致热电偶读数不准，但一般还会同时导致其它