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技术指标确认书 设备名称 数量 功能及技术参数 场发射高分辨透射电子显微镜 1 一、必要功能： 材料的形貌、结构、缺陷和界面的微观分析； 1、成分的定性和半定量分析； 2、元素的点、线和面分析 三、仪器工作条件 1、电源：220 V?10 %，50 Hz?1%，单相；380V (?10%)，50Hz?1%，三相； 2、配备相应的断电保护设备； 3、环境条件：10℃~ 30℃，相对湿度：70 %； 4、直流磁场：水平80 nT；垂直100 nT； 5、安装条件：独立地线：?4欧姆； 6、可不间断连续运行。 2、点分辨率：≤0.19 nm 3、线分辨率：≤0.102 nm 4、加速电压： 80, 100, 120, 160, 200 kV （100 V/步可调） 5、加速电压稳定度：≤2ppm/min (峰峰值) 6、物镜最小聚焦步长：≤ 1.8nm 7、物镜球差系数：≤1.2mm 8、色差系数：≤1.4mm 9、物镜电流稳定性：≤ 2 ppm/min 10、最小束斑尺寸：透射模式(TEM)：?2 nm；微区分析模式(EDS/NBD/CBD模式)： ?0.5 nm 11、电子衍射：最大会聚角(CBED) ≥ 100mrad (全角) 12、扫描透射(STEM) 探头：高角环形暗场探头（HAADF） 分辨率：≤ 0.2 nm 最大HAADF STEM接收角：≥13° 亮度：≥ 4×107A/cm2/sr 束流：1nm束斑电流≥ 0.5nA 能量分辨率：加速电压200kV下为0.7eV或更低 束斑漂移：1nm/min 放大倍数：优于50～100万倍；放大倍数重复性： 10% 相机长度：80～2,000mm 相机长度和放大倍数误差小于5% 13、样品室 5轴全自动马达台(X/Y/Z/Tilt X/Tilt Y) 样品漂移：≤ 1 nm/min 样品复位精度：具有记忆模式功能，将样品从一个位置移动到另一个位置，且X、Y方向复位精度由于200 nm 更换样品及电镜底片时，更换样品时间小于15分钟，更换底片时间小于30分钟 样品台移动尺寸：X ≥ 2mm，Y ≥ 2mm，Z ≥ ±0.1mm 样品台倾斜角度： X ≥ ±25°，Y≥ ±25° 样品台移动步长精度：优于3nm/步 取出角：≥ 20° 14、真空系统 离子泵、油扩散泵 前级机械泵 最优真空度：电子枪室：优于0.9?10-8Pa；样品室：优于2?10-5Pa 15、电镜安全保护： 可以连续使用（电子枪可以连续工作不自动熄灭） 断电、断水、失真空警报及保护，分子泵、离子泵、高压放电、变压器过热保护 1、计算机系统 电镜控制专用高速计算机和EDX配套使用计算机应等于或优于以下配置(要求均为品牌配件) CPU：Intel Core 2 Duo 2GHz以上 内存：DDR 2G以上 独立显存：256MB以上 硬盘：300GB以上 显示器：19英寸以上液晶纯平彩显(LCD，标准屏) 刻录机：DVD-刻录机 打印机：彩色激光打印机一台(HP Color LaserJet CP1215n) 或 HP相等型号 操作系统：微软Windows 系统 1、CCD系统及软件（注：传统的底片拍照选件保留） 底插式CCD相机 具有抗炫功能，可直接拍摄电子衍射 像素：? 2600 有效像素尺寸：优于9?m ? 9?m 读取速度：优于12幅/秒 耦合方式：1:1光纤耦合 CCD机头采用可伸缩设计，有效保护探头，并且便于今后仪器的扩展 CCD有效面积：≥36mm ?24mm 曝光时间：1ms~100s 操作电压：最高达200 Kev 动态范围：14位 闪烁器：高分辨多晶体磷 相机具有自动保护功能，便于今后仪器的扩展 免费提供CCD图像采集和图像处理软件 图像存储模式：可与tiff格式、jpg格式、emf格式、bmp格式、gif格式等转换 具备电子衍射花样分析及其它必要的配套软件，可进行动态原位实验观察和记录 配有19”液晶显示器及其通讯接口的专用品牌电脑一台，内存不低于2G，硬盘不低于300G 有自动聚焦，自动消像散，图像拼接功能?100,000cps时测量)，峰背比优于20,000:1 探测器自动伸缩设计，避免高能杂散信号的攻击，保护能谱探测器 系统稳定性：100,000cps以内输入计数谱峰偏移不超过1eV 探测芯片有效探测面积：?30mm2 元素探测范围：优于B(5)～Am(95) 最大输入计数：优于1,000,000cps，最大输出计数：优于400,000cps 窗口类型：超薄轻元素探测窗口 探测器制冷方式及工作温度：两级帕尔贴效应制冷，工作温度不低于-30度 全谱元素面分布分辨率：优于2048?2048 自动马达控制探测器进出无需手动操作 通过处理器自动扣除和峰(非软件扣除)，自动选择最佳处理时间