ESD作业管控程序解析.doc

靜電防護作業規範 1.0目的 為防止因靜電的產生，而間接的破壞產品，特訂本規範期能降低到最低。 2.0適用範圍 凡屬本公司之靜電防護措施，均適用本規範。 3.0責任 凡進入靜電防護區的所有同仁，皆需遵守本作業規範。 3.1 各單位主管應對其作業所需之材料，分發或設置負有維護之責。 3.2確認所屬，皆已接受本公司或外界相關ESD之訓練。 3.3 各單位之靜電防護之執行及點檢均由各單位負責指定人員執行. 3.4由品保部門負責稽核各防護區執行及記錄是否皆符合本規範要求。並且靜電接地主線量測記錄需送至品管管保存. 3.5 防靜電量測之各儀器由品保單位負責校驗. 4.0定義 無 5.0程式 5.1實施辦法： 5.1.1 設備之靜電防護措施。 (a) 硬式接地要求： 使用之儀器設備的基座與電機系統之安全接地(SAFETY GROUND)必須連結。 測試用設備、庫房物料存放料架、地墊(FLOOR MATS)、輸送皮帶之接地以直接焊接、折縫鉚釘或使用夾式連接固定均可。 5.1.2 工作站之靜電防護措施： 生產流程(PRODUCTION FLOW)作業站包括，(1)COPY IC ，(2) SMD (3)DIP(4)裝配，(5)運送，(6)儲放，(7)檢驗及測試，(8)包裝 ，(9) 維修 及 其直接或間接使用設備、工具及其工作人員之軟式接地，亦必須符合本規範要求。 (a) 作業站表面材料： 必須是導電或靜電消散性材料，如導電墊(TABLE MATS)，導電導板，表面電阻在1055～ 1010／SQUARE OHM之材料。 (b) 作業站間之接地連結： 作業站之間的接地連結可以是串聯，但必須符合下列原則： 接地時，不可與設備之安全接地(SAFETY GRDUND)或高周波接地混合使用。 任何導線在連接點前一寸之內，必須以絕緣覆之。 (c) 警告標誌：(ESD Warning) 各靜電敏感作業區域，必須貼示〝靜電防護警告標誌〞。 各靜電敏感區域之場所大門，須貼示警告標誌。 5.1.3 靜電環、人員導通性測試：(CONTINUITY TEST) (a)工作人員當日進入防護區時，必須先戴靜電環於腕上，然後作導通試驗，通過者方可入內工作。未通過者需更換合格靜電環再作試驗，靜電環測試步驟參考說明。 (b)做導通試驗時，需將腕帶之導線夾在測試儀器之夾片上再以手指輕按測試台中央，合格顯示綠燈，不合格顯示紅燈並將所測結果記錄《靜電環量測記錄表》（靜電環測試儀）。 如下圖 (c)因作業之限制而未能使用靜電環者，亦必須使用防靜電手套,始可接觸 製品。 (d)靜電環測試器,由儀校人員按時校正並保存校驗報告。 5.1.4工廠導電地板導通性測試及作業說明： (a)工廠內鋪設導電地板之區域，須各車間靜電接地支線每3個月量測並記錄於《靜電支線阻抗量測記錄》（接地電阻測量搖表），靜電幹線每3個月量測一次並記錄於《靜電幹線阻抗量測記錄》（接地電阻測量搖表）， 靜電接地點每6個月量測一次並記錄於《靜電接地點阻抗量測記錄》（接地電阻測量搖表）。 (b)工作桌、桌墊接地的有效性，每三個月檢查接地情形並貼靜電合格標籤。 (c) 防靜電地板測試每3個月測試一次，並填寫於《靜電地板阻抗量測記錄》（表面電阻測試儀）。 (d) 將廠區內靜電臺面與靜電線之連接線編號並專人點檢連接狀況,確保連接正常。 (e) 每日對生產線的靜電支線的斷路和導通狀況進行檢查，警報器工作正常，並記錄與《靜電斷路有效性點檢表》（萬用表）。 (f)導電地板之維護： (1) 為維護導電地板之壽命，地板須每日或定期做清潔保養。 (2) 保養時可用拖把沾水，將表面之灰塵去除乾淨，再用導電臘，效果更佳。 (3) 導電地板嚴禁使用化學性溶劑清洗，如HCFC、甲笨、香蕉水．．．等，以確保導電材質不致變質， 脆化損壞。 5.1.5 導電鞋管控： 進入工廠之所有同仁，須穿著導電鞋進入工作場所,來賓訪客須穿防塵 鞋套始可進入。 5.1.6 零件、製品運送與接觸之規定： (a)人員接觸物料或製品規定： 由戴有 ESD 防護手套的人員，將待置物置放於靜電防護桌面。 以工具接觸產品時，該工具必須是不產生靜電者，不可由非ESD 防護絕緣材料工具接觸。 手工焊接作業時，其焊接工