洁净室空气处理过程图-1.ppt

七个典型的洁净空气处理系统即空气处理过程 七个典型的空气处理系统即空气处理过程 3.1.5.1 净化和空调合一的方案其净化空调机组（AHU）集中设置在空调机房内，全部的送风均在净化空调机组内进行过滤和热、湿处理，然后由庞大的送风管将全部的送风输送到洁净室的吊顶上部，再经过设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高效过滤器送风口送到洁净室内，来实现洁净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净度和房间的压差，洁净室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的空调机组内与新风混合后重复进行过滤和热、湿处理。 净化和空调合一的方案又可分为全新风方案（直流系统）；一次回风方案；一、二次回风方案和(MAU)加(RAU)方案等四种不同的净化空调送风型式。 这些送风方案是当前洁净室特别是非单向流洁净室中应用最广泛的净化空调送风方案。这些送风方案的系统划分明确，风量和温、湿度控制调节都比较单一。 一、AHU全新风的净化空调送风方案（直流系统） 全新风净化空调送风方案是用于特殊的不允许回风的洁净室的送风方案中。如：洁净室内工艺生产类别为甲、乙类火灾危险等级或工艺过程产生有剧毒等有害物不允许回风的洁净送风系统中。其原理图和焓湿图如下。 二、AHU 一次回风的净化空调送风方案 一次回风的送风方案多用在洁净室内的发热量或产湿量很大，消除室内余热或余湿的送风量大于或等于净化送风量的低洁净度等级的非单向流洁净室中。此方案的原理图和焓湿图如下： 三、AHU 一、二次回风的净化空调送风方案 为了节能、消除空气热湿处理过程中的冷热相互抵消，在洁净室净化送风量大于消除余热、余湿的空调送风量时，最好采用一、二次回风方案，将二次混合点设计在系统送风点上,该方是最节能、最经济的送风方案。其原理图和焓湿图如下： 四、MAU+RAU的净化空调送风方案 此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度，温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循环机组,循环机组的送风量是能消除室内余热、余湿，保证室内温、湿度同时又能满足室内洁净度要求的净化空调送风量, 在循环机组内设置必要的热、湿处理设备,用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。 二、新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机过滤器单元（FFU）净化空调送风方案 此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度，温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循环机组,循环机组的送风量只是消除室内余热余湿的空调送风量,并且在机组内设置必要的热、湿处理设备,用来补充新风机组热、湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精度的微调节。 三、新风机组（MAU）加风机过滤器机组（FFU）加干冷盘管(DC)的净化空调送风方案 此方案是新风机组将新风处理到洁净室热湿比线与相对湿度95%线交点以下，新风机组不仅将本身的湿负荷去掉，而且还负担洁净室内产生的湿负荷，新风机组要确保洁净室所要求的相对湿度。而新风机组热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净室下夹层或吊顶上的干表冷器来补充。因干表冷器是设在FFU循环空气通过的吊顶上或夹道内，因此，干表冷所弥补的干冷负荷被循环空气带到洁净室内。 3.1.6 洁净室净化空调系统的冷、热源 3.1.6.1 净化空调系统冷源的选择 一、集中冷冻站和分散独立冷源的比较和选择。 大型规模化的生产工厂集中设置冷冻站，对建造投资和运行管理都是比较有利的。但是由于一些温、湿要求差别比较大供冷参数不同；运行规律、运行时间不同的洁净车间来说，在集中冷冻站基础上，就近设置分散、独立、专用的制冷机组，这对节省能源，保证参数和方便运行管理都有极大的好处。 四、净化空调系统冷冻水的温度的确定 当以冷冻水作为净化空调系统的冷媒时，在一般的情况下，冷冻水的初温（表冷器冷冻水的进口温度）应比处理后空气的终温（设计计算中确定）至少要低3.5℃；如果是以冷冻方式去湿降温为目的空气处理系统，冷冻水的终温（表冷器冷冻水的出口温度）应比处理后空气的终温低0.7℃；用作干式冷盘管的冷冻水的初温（进口温度）应比洁净室内空气的露点温度至少高2℃。 3.1.6.2 净化空调系统冷源的选择 一、以冬季防冻为目的新风预热加热器的热媒最好采用电加热或蒸汽加热，一般不宜采用热水作热媒，这样预热器本身可能有被冻坏的危险。 二、空调机组内加热器的热媒可采用热水、蒸汽或电加热，其中电加热控制灵活方便，温度控制精确度高，但运行费昂贵，一般在没有热水和蒸汽供应的地方才用电加热；用热水作热媒时不仅调节和管理方便、而且控制精度也高是加热器最常用的热媒；当温度的精度要求不高