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年会总结报告 FIB年会报告 FIB 在材料研究领域的一些新的技术 丁明帅 2013.12.3 作为一名研究生，我很荣幸能够在CAMP-Nano的支持下参加2013年第四届全国FIB技术及学术交流研讨会。在天津的两天时间里，我不仅学到了很多关于FIB在材料研究领域的必威体育精装版技术，开拓… 第5册《放牛山歌》教学反思 三年级上学期第四课《放牛山歌》是一首四川儿歌，具有浓郁的地方民歌风格，时而热情奔放，时而歌声悠扬。常言道“艺高人胆大”也就是说，学生掌握的技能技巧越加娴熟，其自信心也就越强，表现音乐的水平也就越高。因此我在本节课中发掘学生… 1、钟面上有（ ）个大格，（ ）个小格。时针走1大格是（ ），分针走1大格是（ ），走1小格是（ ）。 2、时针走1大格，分针正好走（ ）圈，也就是（ ）大格。 3、分针走1小格，秒针正好走（ ）圈，也就是（ ）大格。 ４、 1时=（ ）分 1分=（… FIB 在材料研究领域的一些新的技术 丁明帅 2013.12.3 作为一名研究生，我很荣幸能够在CAMP-Nano的支持下参加2013年第四届全国FIB技术及学术交流研讨会。在天津的两天时间里，我不仅学到了很多关于FIB在材料研究领域的必威体育精装版技术，开拓了眼界，加深了我对研究的思考，而且我还得以有机会向众多材料学研究学者们请教，解答我在研究领域里的问题。两天的时间，22场报告让我收获颇多。下面我从微柱的设计和制备、半球体的制备、纳米结构的诱导和操控以及TEM样品的制备四个方面来介绍下我的天津之旅的收获。 1：微柱的设计和制备 例1：传统的FIB制备出来的柱子一般都会有锥度且柱子根底界线不清晰，有深沟等特点，这些特点对于力学性能的测试必然会引起一定的误差。为了克服这种缺陷，南京大学的王前进通过自己的摸索向我们分享了他的制备方法。首先，他通过光刻和电化学腐蚀的方法在薄膜材料表面预置了回形槽和L形槽。这样的方法节省了很多的工作量。然后再把样品粘在45度斜台子上进行进一步加工。由于切出的柱子要有明确的根底且不能有深沟，因而需要沿着预置的L形槽进行侧向加工，这样既可以通过倾转角度去除柱子的锥度，又可以使根部较为平坦，无明显深沟。同时这种方法在批量加工方面具有很大的优势。这种制备方法在作对比试验或研究样品形貌对材料力学性能的影响中具有重要意义。 例2：由于利用FIB技术制备柱子具有尺寸限制（100nm）、几何锥度、低效率、镓离子损伤以及较大密度的缺陷等缺点，美国加州理工学院的Julia Greer组提出了用电子束曝光与电镀制备微柱的方法[1]。Julia Greer组用电子束曝光制备出了直径在25nm-750nm的不同的压缩和拉伸样，且样品中的缺陷密度几乎为零。他们首先在硅的基底上沉积上一层Au和Ti导电层，作为阴极，而后再沉积上较厚的PMMA，下一步就是用电子束曝光的方法在材料中形成所需要的圆 图1-1：电子束曝光方法的制备流程 孔，完成过后使用电沉积即可获得所要求的柱子。通过电流和沉积时间的控制可以控制柱子的长度，同时也可以控制柱子是否具有“帽子”，以确定用做压缩还是拉伸样品。使用这种方法制备出来的微柱如下图所示： 图1-2：电子束曝光方法制备的柱子 以及各种具有孪晶的微柱（如上图所示）。这种方法对于研究离子注入、应力梯度以及小尺寸微柱对力学性能的影响具有重要意义。 2：半球体的制备 中科院物理所的姜倩晴在使用FIB制备材料的过程发现非同心圆环的嵌套使用可以得到光滑的曲面，如下图所示。基于这个发现，她利用非同心圆的叠加 （a）圆柱 （b）半球体 图2-1：利用叠加嵌套的非同心圆环制备半球体 嵌套切割加工出了半球体，且很好的研究了金刚石NV 色心的光学性质。如果需 要更光滑的半球面则需要叠加更多的非同心圆环。这种方法给我们以启发，我们可以利用FIB技术去制备一些形貌不规则的曲面形状，拓宽了我们的研究范围。 3：对纳米结构的诱导和操控 对纳米结构的诱导和操控对于构建三维器件具有重要意义。在这次会上中科院物理所的崔阿娟和北大的毛逸飞分别提到了利用镓离子辐照诱导悬臂梁和纳米线立起来的实验结果。如下图所示： 图3-1：利用镓离子使悬臂梁和纳米线立起来 不过对于辐照诱导的机理尚没有一致的定论。基于此，他们又组装构建了许多三维器件，如纳米笼、纳米螺旋带、纳米发条等。 图3-2：利用镓离子辐照诱导组装构建的二维和三维器件 当然除了镓离子辐照诱导外，中科院物理所的李无瑕老师又寻找到了通过热驱动来诱导纳米线生长的方法[2]。如下图所示。 : 图3-3：热驱动诱导形变 当使用FIB沉积的方法获得纳米线时，在退火过后，纳米线会向着气体源的