潔净室性能测试.docVIP

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潔净室性能测试

洁净室性能测试 (一)测试项目的选择和实施顺序 1、 性能测试项目和顺序的选择,参照国际标准《洁净室及相关受控环境,第3部份:检测方法》,ISO14644-3中相关要求,根据具体工程的规模、空气洁净度等级、产品生产工艺要求及布置情况、净化空调系统等因素确定,并应由建设方、施工方协商一致填写下表: 性能测试项目清单和测试顺序 选择测试 顺序 测试内容 测试程序参照条款 选择测试仪器 测试仪器 #□ 悬浮粒子 C.1 □ 离散粒子计数器 #□ 悬浮超微粒子计数 C.12 □ 凝结核粒子计数器 □ 离散粒子计数器 □ 粒径屏蔽装置 #□ 悬浮宏粒子与计数 C.13 #□ 悬浮宏粒子采集与计数 C.13.2 □ 显微镜测量采样滤纸 □ 梯级冲撞器 #□ C.13.3 □ 离散粒子计数器 #□ 悬浮宏粒子计数无采 □ 飞行时间粒子仪 #□ 气流 C.4 #□ 单向流设施的风速测量 C.2.2.1 □ 热风速计 □ 超音速风速计(3维或相当3维) □ 旋翼风速计 □ 皮托管与压力计 #□ 非单向流设施的送风风速测量 C.2.3 □ 热风速计 □ 超声风速计(3维或相当3维) □ 旋翼风速计 □ 皮托管与压力计 □ 一体式风量罩 #□ 过滤器下风向总风量测量 C.2 □ 文氏管计 □ 孔流速计 □ 皮托管与压力计 #□ 送风管风量测量 C.2 □ 一体式风量罩 □ 文氏管计 □ 孔流速计 □ 皮托管与压力计 #□ 压差 C.3 □ 电子微压计 □ 斜式压力计 □ 机械式压差计 过滤器安装后检漏 C.4 #□ 过滤器系统安装后泄漏扫描 C.4 □ 线性气溶胶光度计 □ 对数气溶胶光度计 □ 离散粒子计数器 □ 气溶胶发生器 □ 气溶胶液 □ 稀释系统 □ 凝结核计数器 #□ 安装在风管与空气处理机上的过滤器之测试 C.4 □ 线性气溶胶光度计 □ 对数气溶胶光度计 □ 离散粒子计数器 □ 气溶胶发生器 □ 气溶胶液 □ 稀释系统 □ 凝结核计数器 #□ 气流方向和目检 C.5 □ 气溶胶发生器 □ 示踪剂 □ 热风速计 □ 3维超声风速计 □ 气溶胶发生器 #□ 温度 C.6 #□ 一般温度 C.6.2.1 □ 玻璃温度计 □ 数字温度计 #□ 综合温度 C.6.2.2 □ 玻璃温度计 □ 数字温度计 #□ 湿度 C.7 □ 湿度监测器(电容性) □ 湿度监测器(毛发式) □ 露点传感器 □ 智能记录仪 静电与离子发生器 C.15 #□ 静电 C.15 □ 压电电压计 □ 高阻计 □ 充电板监测器 #□ 自净时间 C.11 □ 离散粒子计数器 气溶胶发生器 密闭性检测 C.8 #□ 离散粒子计数器法 □ 离散粒子计数器 □ 气溶胶发生器 □ 稀释系统 #□ 光度计法 □ 光度计 □ 气溶胶发生器 #□ 噪声 C.9 □ 倍频程声级计 □ 声级计 #□ 照度 C.10 □ 照度计 #□ 浮游菌、沉降菌 C.16 □ 培养皿 □ 培养基 □ 采样器 注:1 测试可在第1列的格中按所选择的测试项目编号。 2 在第4列中,测试可按所选的测试方法选择测试仪器。 (二) 测试方法 A、 空气洁净度等级测试 1、本节提出的空气洁净度等级测试,主要是参照国际标准《洁净室及相关受控环境,第1部份:空气洁净度分级和第3部份:检测方法》,ISO14644-1和ISO14644-3,并结合我国目前的实际进行制定。 2、空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器,采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器;测试粒径大于等于0.1的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器(采样量每分钟28.3L);测试粒径小于0.1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器。 3、 采样点确定 (1)应按下式计算最少采样点 (C.1.3) 式中——最少采样点,四舍五入取整数; ——洁净室(区)的面积。在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以㎡计。 (2) 采样点应均匀分布于洁净室(区)的面积内,并位于工作区高度。 4、 每次采样的最少采样量 (1) 每个采样点的每次采样量(VS)应

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