0106-EC-2010還原二车间还原工艺技术规程.doc

备案号：0106-EC-2010 昆明冶研新材料股份有限公司 企业标准 QS/00EC012-2010 还原二车间还原工艺技术规程 2010-08-18发布 2010-08-30 实施 昆明冶研新材料股份有限公司 发布前 言本标准由昆明冶研新材料股份有限公司标准委员会提出。 本标准负责起草部门：。 本标准主要起草人：。 本标准由昆明冶研新材料股份有限公司审核。 本标准由昆明冶研新材料股份有限公司批准。 本标准为第一次起草编制，有不完善的内容将在今后陆续制定、修订。 本标准由昆明冶研新材料股份有限公司负责解释。 2 2 规范性引用文件 2 3 质量标准、生产规模、原辅材料和能源消耗 2 3.1原料质量标准 2 3.2产品质量标准 3 3.3生产规模 3 3.4主要原辅材料和能源和能源消耗 3 4 工艺原理 4 4.1工艺原理描述 4 4.2 工艺流程说明 5 4.3 工艺PID图 5 5 车间生产班制、定员及制度 5 5.1 生产班制 5 5.2 定员 5 5.3 生产制度 5 6 主要设备性能及规格 6 6.1 设备一览表 6 6.2设备工作原理说明 7 6.3操作技术工艺指标 7 7 过程控制 8 7.1 原始开车前准备 8 7.2原始开车操作 8 7.3 正常运行 9 7.4 停车 12 8 管理要点 13 8.1 着重控制要点与生产管理 13 8.2 注意事项 14 8.3 取样分析点 14 8.4 设备维护保养、故障与排除 14 8.5 事故判断处理及预防 16 9 引用资料 17 10 质量记录 17 还原二车间还原工艺技术规程本规程适用于昆明冶研新材料股份有限公司还原二车间还原工序。其运行管理人员应掌握本规程；工序生产管理人员、技术管理人员应熟悉本规程。质量标准、生产规模、原辅材料和能源消耗 单位 电子级 太阳能极 TCS纯度 ％W ≥99.96 ≥99.9 二氯硅烷(DCS) ％Mac ＜0.1 ＜0.1 四氯化硅(STC) ％Mac ＜0.1 ＜0.1 Total C ppma ＜0.1 ＜1 硼 B ppbw ＜1 ＜3 磷 P ppbw ＜0.3 ＜5 锑 Sb ppbw - - 砷 As ppbw ＜0.05 ＜0.5 钙 Ca ppbw ＜1 ＜5 铁 Fe ppbw ＜1 ＜15 铝 Al ppbw ＜0.1 ＜1 铜 Cu ppbw ＜0.5 ＜5 钛 Ti ppbw - - 铬 Cr ppbw ＜0.5 ＜5 镍 Ni ppbw ＜1 ＜5 锰 Mn ppbw - - 铅 Pb ppbw - - 锡 Sn ppbw - - 钠Na ppbw ＜1 ＜5 表3-2 提纯车间提供三氯氢硅质量指标表 高纯TCS产品质量指标 组分 描述 指标 纯度等级 SiHCl3 三氯氢硅 99% 　 SiHCl3+ chlorosilane ≥99.9999% 　 B/Al ≤0.2ppbw 9N C 碳 ≤1ppmw 6N P 施主 ≤1ppbw 9N Metals 金属 ≤5ppbw 9N 尾气回收车间的H2 不增加任何其它杂质，其指标为来自制氢站的H2指标，见表3-2。 表3-3 还原二车间还原工序H2原料质量指标 组分 N2 ≤4ppm H2O ≤-75℃ O2 ≤1ppm 总C ≤1ppm CH4 ≤1ppm 3.2产品质量标准 项目 多晶硅等级 半导体级 太阳能级 1级 2级 3级 4级 5级 型电阻率,Ω·cm 500 ≥300 ≥100 ≥40 ＜40 施主杂质(P、As、Sb) 总含量 ≤0.15ppba ≤0.25ppba ≤ ppba ≤2 ppba ≤5 ppba P型电阻率,Ω·cm 5000 ≥3000 ≥500 ≥200 ＜00 受主杂质(B、Al) 总含量 ≤0.05ppba ≤0.3ppba ≤0.ppba ≤1.5ppba ≤3ppba 氧浓度，at/cm3 N/A N/A ≤1×1017 2ppma ≤1×1017 2ppma ≤1.5×1017 3ppma 碳浓度，at/cm3≤7.5×1015 0.15ppma ≤1.5×1016 0.3ppma ≤2.5×1016 0.5ppma ≤4.0×1016 0.8ppma ≤4.5×1016 0.9ppma N型少数载流子寿命，μs ≥100